[发明专利]金属板、金属板的制造方法、和使用金属板制造蒸镀掩模的方法

权利要求书

1.一种蒸镀掩模的制造方法，该蒸镀掩模的2个以上的有效区域沿着与蒸镀掩模的长度方向平行的一个方向隔着预定的间隔而排成一列，其中，该制造方法包括下述工序：

准备金属板的工序，该金属板至少局部具有起伏形状，该起伏形状由于该金属板的长度方向的长度对应其宽度方向的位置而有所不同；

抗蚀剂图案形成工序，该工序中，在所述金属板上形成抗蚀剂图案；和

蚀刻工序，该工序中，将所述抗蚀剂图案作为掩模对所述金属板进行蚀刻，在用于形成所述有效区域的所述金属板的区域内形成用于划出所述贯通孔的凹部；

将所述金属板的所述长度的最小值称为基准长度，将所述金属板的宽度方向的各位置处的所述金属板的所述长度与所述基准长度之差相对于所述基准长度的比例称为延伸差率时，满足以下条件(1)～(3)，

(1)所述金属板的宽度方向的中央部分的所述延伸差率为10×10^-5以下；

(2)所述金属板的宽度方向的端部的所述延伸差率为20×10^-5以下；和

(3)所述端部的所述延伸差率大于所述中央部分的所述延伸差率的最大值；

所述中央部分包括所述金属板的宽度方向的中央部，其是占所述金属板的宽度的40％的部分。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，

所述抗蚀剂图案形成工序具有：

在所述金属板上形成抗蚀剂膜的工序、

使曝光掩模与所述抗蚀剂膜真空密合的工序、和

隔着所述曝光掩模将所述抗蚀剂膜以预定的图案曝光的工序。

3.如权利要求1或2所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，所述金属板的热膨胀系数与基板的热膨胀系数为同等的值，该基板上隔着由所述金属板制造的蒸镀掩模而成膜有蒸镀材料。

4.如权利要求1所述的蒸镀掩模的制造方法，其中，所述金属板含有因瓦合金材料。