[发明专利]一种微电子器件表面耐酸涂层配方及其制备方法

权利要求书

1.一种微电子器件表面耐酸涂层配方，其特征在于，按照重量份数由如下原料组成：

多孔粉石英20-30份、钛白粉10-20份、去离子水30-40份、丙二醇4-6份、氯化钠2-4份、乳液5-7份、分散剂2-4份、增稠剂2-4份、无水乙醇30-40份。

2.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面耐酸涂层配方，其特征在于，按照重量份数由如下原料组成：

多孔粉石英25份、钛白粉15份、去离子水35份、丙二醇5份、氯化钠3份、乳液6份、分散剂3份、分散剂2份、增稠剂3份、无水乙醇35份。

3.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面耐酸涂层配方，其特征在于，所述分散剂采用硬脂酸单甘油酯。

4.根据权利要求1所述的一种微电子器件表面耐酸涂层配方，其特征在于，所述增稠剂采用羟乙基纤维素和甲基羟乙基纤维素等质量比混合而成。

5.一种微电子器件表面耐酸涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

(1)基质研磨：将多孔粉石英和钛白粉按照质量比放入沸腾炉中加强热，之后将其放入砂磨机中进行研磨，并将研磨好的白粉过600目筛进行筛选得到涂料用白粉；

(2)配料的混合：利用搅拌罐，在200r/min的转速搅拌下，依次按照质量比加入丙二醇、氯化钠和分散剂，并加入去离子水进行调和，之后提高搅拌速度至400-500r/min，持续搅拌20-40min至组分全部分散；

(3)基料的配置，利用搅拌罐，在400r/min的搅拌速度下，依次逐次加入乳液和增稠剂，并且每加入一种原料组分后搅拌5-10min，最后持续搅拌10-30min得到涂料用基料；

(4)涂料的混合成型，将步骤(1)、步骤(2)和步骤(3)中得到的基质、配料和基料均放入搅拌罐内，在400r/min的搅拌速度下搅拌10-15min直至所有组分混合呈均匀状态；

(5)将步骤(4)中混合浆液烘干并经过研磨罐研磨成粉状，然后在粉末中按照质量比加入无水乙醇搅拌，直至全部溶解。

6.根据权利要求5所述的一种微电子器件表面耐酸涂层的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，所述沸腾炉中的温度维持在1200-1500℃，持续时间40-60min。