[发明专利]防转装置、运动台系统与光刻设备

说明书

本发明提供了一种防转装置、运动台系统与光刻设备，所述防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，防转装置包括交叉伸缩连杆组件，交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；工件台沿第一方向运动时，交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，第一方向为工件台与线缆台之间最短连线方向，第二方向在同一平面内与第一方向垂直。本发明交叉伸缩连杆组件伸缩时，其与工件台和线缆台的连接位置保持不变，避免因连接点沿非伸缩方向运动对运动台的运动造成阻力。

技术领域

本发明涉及光刻领域，尤其涉及一种防转装置、运动台系统与光刻设备。

背景技术

在半导体光刻设备中，硅片台和掩模台等精密工件台运动系统是极其重要的关键部件。

现有的相关技术中，可以采用平面磁浮电机来实现长行程粗动的精密工件台运动系统，其中，精密工件台运动系统包括运动平台(多个磁铁按一定的方式排列而成的定子)和包含导电线圈的工件台构成。

其中，定子磁铁的极化方向和工件台的线圈产生的磁极方向需保持一定的空间关系，否则会导致工件台失去定位能力。基于该空间关系，如果工件台在软件故障或程序错误、碰撞、失去电源等情况下，工件台旋转45°后，线圈产生的磁场方向与运动平台内磁铁的磁场方向平行时，工件台将无法移动，同时，这种较大的旋转会对与工件台相连的线缆管路产生危害。

发明内容

本发明提供了一种防转装置、运动台系统与光刻设备，以解决如何避免旋转产生的不利影响。

根据本发明的第一方面，提供了一种防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件，所述交叉伸缩组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；

所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台与线缆台之间最短连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件具有四个连接端部，其中两个连接端部转动连接于所述工件台的两个第一连接点；另两个连接端部转动连接于所述线缆台的两个第二连接点，所述两个第一连接点、所述两个第二连接点均沿第二方向分布。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件包括两个伸缩连杆，两个伸缩连杆沿第二方向平行设置，每个伸缩连杆具有两个连接端部，分别连接所述第一连接点和所述第二连接点。

可选的，每个所述伸缩连杆包括两个第一连杆、两个第二连杆与若干中间连杆，两个第一连杆的第一端相交后连接于所述第一连接点，两个第二连杆的第一端相交后连接于所述第二连接点；两个第一连杆的第二端连接中间连杆；两个第二连杆的第二端连接中间连杆；所述若干中间连杆成对连接，且成对的两个中间连杆交叉连接；

两个中间连杆与两个第一连接杆之间、以及两个中间连杆与两个第二连杆之间，分别形成平行四边形；或者：两个中间连杆与两个第一连接杆之间、两个中间连杆与两个第二连杆之间，以及两个中间连杆与两个中间连杆之间，分别形成平行四边形，所述平行四边形随所述伸缩连杆的压缩与伸展变化夹角。

可选的，所述第一连杆与所述第二连杆的长度相同，所述中间连杆的长度为所述第一连杆与所述第二连杆的长度的两倍，交叉连接的两个中间连杆的交叉连接点处于对应中间连杆的中点位置。

可选的，所述中间连杆的数量为两对。

可选的，所述交叉伸缩连杆组件为轴对称结构，且对称轴沿第一方向布置。