[发明专利]防转装置、运动台系统与光刻设备

权利要求书

1.一种防转装置，连接于工件台与线缆台之间，用于限制工件台相对线缆台绕垂直工件台所在平面的轴发生非预期角度旋转运动，其特征在于，所述防转装置包括交叉伸缩连杆组件，所述交叉伸缩连杆组件的两端分别与工件台与线缆台转动连接；所述工件台沿第一方向运动时，所述交叉伸缩连杆组件能够沿相同方向压缩或伸展，所述交叉伸缩连杆组件与工件台和线缆台的连接位置在第二方向上保持不变，所述第一方向为工件台与线缆台之间连线方向，所述第二方向在同一平面内与第一方向垂直；

其中，所述交叉伸缩连杆组件通过两个第一连接点与所述工件台连接，通过两个第二连接点与所述线缆台连接，所述两个第一连接点和两个第二连接点均沿第二方向分布且位置固定；

防转装置还包括位置检测装置和导向组件，所述位置检测装置安装于所述交叉伸缩连杆组件上，所述位置检测装置用于检测所述工件台与所述线缆台之间沿第一方向的相对位置；所述导向组件的两端分别设置在所述交叉伸缩连杆组件的交叉连接点上和所述线缆台上，所述导向组件包括导向杆和与之配合的导向槽，所述导向杆和导向槽分别设置在所述交叉伸缩连杆组件和所述线缆台上或相反设置；当所述交叉伸缩连杆组件伸缩时，所述导向杆可在导向槽内沿第一方向移动为所述交叉伸缩连杆组件伸缩提供导向。

2.根据权利要求1所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件具有四个连接端部，其中两个连接端部转动连接于所述工件台的两个第一连接点；另两个连接端部转动连接于所述线缆台的两个第二连接点，所述两个第一连接点、所述两个第二连接点均沿第二方向分布。

3.根据权利要求2所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件包括两个伸缩连杆，两个伸缩连杆沿第二方向平行设置，每个伸缩连杆具有两个连接端部，分别连接所述第一连接点和所述第二连接点。

4.根据权利要求3所述的防转装置，其特征在于，每个所述伸缩连杆包括两个第一连杆、两个第二连杆与若干中间连杆，两个第一连杆的第一端相交后连接于所述第一连接点，两个第二连杆的第一端相交后连接于所述第二连接点；两个第一连杆的第二端连接中间连杆；两个第二连杆的第二端连接中间连杆；所述若干中间连杆成对连接，且成对的两个中间连杆交叉连接；

两个中间连杆与两个第一连接杆之间、以及两个中间连杆与两个第二连杆之间，分别形成平行四边形；或者两个中间连杆与两个第一连接杆之间、两个中间连杆与两个第二连杆之间，以及两个中间连杆与两个所述中间连杆之间，分别形成平行四边形，所述平行四边形随所述伸缩连杆的压缩与伸展变化夹角。

5.根据权利要求4所述的防转装置，其特征在于，所述第一连杆与所述第二连杆的长度相同，所述中间连杆的长度为所述第一连杆与所述第二连杆的长度的两倍，交叉连接的两个中间连杆的交叉连接点处于对应中间连杆的中点位置。

6.根据权利要求4或5所述的防转装置，其特征在于，所述中间连杆的数量为两对。

7.根据权利要求2所述的防转装置，其特征在于，所述交叉伸缩连杆组件为轴对称结构，且对称轴沿第一方向布置。