[发明专利]挠性衬底结构及其制造方法

权利要求书

1.一种挠性衬底结构，其特征在于，包括：

挠性衬底，具有第一表面以及第二表面，所述第二表面相对于所述第一表面；

第一图案化金属层，设置于所述挠性衬底的所述第一表面上；以及

第二图案化金属层，设置于所述挠性衬底的所述第二表面上；

其中所述挠性衬底具有至少一个穿孔，所述挠性衬底结构用以作为掩模。

2.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层在垂直于所述第一表面的方向上完全重叠。

3.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层在垂直于所述第一表面的方向上不完全重叠。

4.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述穿孔的外缘在垂直于所述第一表面的方向上与所述第一图案化金属层以及所述第二图案化金属层不重叠。

5.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第一图案化金属层具有至少一个第一开口，且所述穿孔位于所述第一开口内。

6.根据权利要求5所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第二图案化金属层具有至少一个第二开口，且所述穿孔位于所述第二开口内。

7.根据权利要求5所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述穿孔与所述第一开口的边缘相距约0.5微米至约500微米。

8.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第一图案化金属层具有多个第一开口，所述第一开口以阵列方式排列。

9.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述第一图案化金属层包括多个条状结构，所述条状结构的宽度为约0.5微米至约1000微米。

10.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述穿孔的外缘在垂直于所述第一表面的方向上与所述第一图案化金属层以及所述第二图案化金属层重叠。

11.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述挠性衬底具有多个穿孔，两相邻的所述穿孔之间的距离为约0.5微米至约500微米。

12.根据权利要求1所述的挠性衬底结构，其特征在于，所述挠性衬底具有多个穿孔，所述穿孔以阵列方式排列。

13.一种挠性衬底结构的制作方法，其特征在于，包括：

提供挠性衬底，所述挠性衬底具有第一表面以及与所述第一表面相对的第二表面；

于所述挠性衬底的所述第一表面上形成第一图案化金属层，并于所述挠性衬底的所述第二表面上形成第二图案化金属层；以及

对所述挠性衬底进行穿孔制程，以于所述挠性衬底上形成至少一个穿孔，其中所述挠性衬底结构用以作为掩模。

14.根据权利要求13所述的挠性衬底结构的制作方法，其特征在于，在形成所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层之前，于所述挠性衬底的所述第一表面与所述第二表面分别形成图案化光刻胶层，并于形成所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层之后移除所述图案化光刻胶层。

15.根据权利要求13所述的挠性衬底结构的制作方法，其特征在于，所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层在垂直于所述第一表面的方向上完全重叠。

16.根据权利要求13所述的挠性衬底结构的制作方法，其特征在于，所述第一图案化金属层与所述第二图案化金属层在垂直于所述第一表面的方向上不完全重叠。