[发明专利]一种自动监控产品跑货状况的方法

说明书

本发明公开了一种能随时调取所述产品批次的数据查看，及时、准确的掌握关键产品批次的跑货状况、DPML信息和工程时间的使用情况的自动监控产品跑货状况的方法。在使用时只需在系统中输入产品批次信息，系统会自动调用制造执行系统，产品批次的实时信息会反馈到该系统中，通过公式计算，即可自动得到并反馈该产品批次的行军图，并可以自动计算并显示实际DPML、剩余DPML、实际工程时间、批次生产时间延迟主要原因等信息，从而及时、准确的掌握关键批次的跑货状况。

技术领域

本发明涉及半导体领域，尤其涉及一种自动监控产品跑货状况的方法。

背景技术

半导体生产中对关键产品批次(key lot)跑货状况的监控一般通过产品批次行军图(lot movement chart)和每层光刻所耗天数(DPML，Days Per Mask Layer)来表征，但目前产品批次行军图(lot movement chart)多通过人工编辑的方法制作，耗时较多且无法达到随时监控(monitor)的效果，无法满足半导体制造过程中的即时、高效的要求。

发明内容

本发明为解决现有技术中的上述问题提出的一种能随时调取所述产品批次的数据查看，及时、准确的掌握关键产品批次(key lot)的跑货状况、DPML信息和工程时间(ENG，engineering)的使用情况的自动监控产品跑货状况的方法。

为实现上述目的，本发明采用以下技术方案：

一种自动监控产品跑货状况的方法，运用于半导体跑货系统，其特征在于：所述半导体跑货系统包括

一个以上的站点；所述站点对一个以上批次的产品进行跑货；

一个以上的监测器，所述监测器分别连接所述站点；

一制造执行系统，制造执行系统连接多个所述监测器；

一产品跑货全程监控系统，所述制造执行系统与产品跑货全程监控系统连接；

所述自动监控产品跑货状况的方法包括以下步骤：

S1设置所述产品跑货全程监控系统的预设数据，所述预设数据包括预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间；

S2启动一个以上所述站点对产品按批次进行跑货，所述跑货包括光罩进厂、作业、等待、工程、出货工艺；

S3所述监测器监测到每个站点的产品的实时数据，所述实时数据包括每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间；

S4所述监测器将每个站点的每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据发送给所述制造执行系统；

S5所述产品跑货全程监控系统从制造执行系统中抓取S4步骤中监测到的实时数据；

S6所述产品跑货全程监控系统将S1步骤中设置的预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间的预设数据和S4步骤中监测到的每个站点的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据经后台计算后，形成行军图。

为了进一步优化上述技术方案，本发明所采取的技术措施为：

优选的，所述S2步骤中对所述站点进行开站或不开站操作。

更优选的，所述预设数据还包括预设开站信息，所述实时数据还包括实时开站信息。

更优选的，所述预设开站信息包括预设要开站信息和预设不开站信息，所述实时开站信息包括实时要开站信息和实时不开站信息。