[发明专利]一种自动监控产品跑货状况的方法

权利要求书

1.一种自动监控产品跑货状况的方法，运用于半导体跑货系统，其特征在于：所述半导体跑货系统包括

一个以上的站点；所述站点对一个以上批次的产品进行跑货；

一个以上的监测器，所述监测器分别连接所述站点；

一制造执行系统，制造执行系统连接多个所述监测器；

一产品跑货全程监控系统，所述制造执行系统与产品跑货全程监控系统连接；

所述自动监控产品跑货状况的方法包括以下步骤：

S1设置所述产品跑货全程监控系统的预设数据，所述预设数据包括预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间；

S2启动一个以上所述站点对产品按批次进行跑货，所述跑货包括进货、作业、等待、工程、出货工艺；

S3所述监测器监测到每个站点的产品的实时数据，所述实时数据包括每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间；

S4所述监测器将每个站点的每个批次产品的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据发送给所述制造执行系统；

S5所述产品跑货全程监控系统从制造执行系统中抓取S4步骤中监测到的实时数据；

S6所述产品跑货全程监控系统将S1步骤中设置的预设光罩进厂时间、预设作业时间、预设等待时间、预设工程时间、预设出货时间的预设数据和S4步骤中监测到的每个站点的实时光罩进厂时间、实时作业时间、实时等待时间、实时工程时间、实时出货时间的实时数据经后台计算后，形成行军图。

2.根据权利要求1所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：所述S2步骤中对所述站点进行开站或不开站操作。

3.根据权利要求2所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：所述预设数据还包括预设开站信息，所述实时数据还包括实时开站信息。

4.根据权利要求3所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：所述预设开站信息包括预设要开站信息和预设不开站信息，所述实时开站信息包括实时要开站信息和实时不开站信息。

5.根据权利要求1-4任一项所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：单个站点的所述预设等待时间的设置方法为：预设等待时间＝预设出货时间—预设光罩进厂时间—预设作业时间—预设工程时间。

6.根据权利要求5所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：将多个预设等待时间平均，其设置方法为：平均预设等待时间＝(总预设出货时间-总预设光罩进厂时间-总预设作业时间-总预设工程时间)/运行的站点数。

7.根据权利要求1-4任一项所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：单个站点的所述预设出货时间的设置方法为：预设出货时间＝预设光罩进厂时间+预设作业时间+预设等待时间+预设工程时间。

8.根据权利要求1-4任一项所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：总的所述预设出货时间的设置方法为：总预设出货时间＝预设光罩进厂时间+(预设作业时间+预设等待时间+预设工程时间)×预设运行的站点数。

9.根据权利要求4所述的自动监控产品跑货状况的方法，其特征在于：所述预设要开站信息和实时要开站信息设置为1；所述预设不开站信息和实时不开站信息设置为0。