[发明专利]硅片清洗制绒装置

权利要求书

1.硅片清洗制绒装置，其特征在于：包括硅片制绒槽(1)、硅片转运装置(2)以及硅片清洗装置(3)；所述硅片转运装置(2)设置在硅片制绒槽(1)与硅片清洗装置(3)之间；

所述硅片制绒槽(1)包括槽体(11)、加热控制器(19)；所述槽体(11)的一端设置有入水槽(12)，另一端设置有出水槽(13)；

所述入水槽(12)一端通过第一匀流板(17)与槽体(11)连通，另一端的上方设置有与入水槽(12)连通的入水箱(14)；所述入水箱(14)具有入水口(141)，所述入水槽(12)内由入水槽(12)的一端向另一端依次设置有横向加热电阻(20)、竖向加热电阻(15)以及搅拌装置(16)；所述横向加热电阻(20)位于入水箱(14)的下方；且在竖直方向上均匀分布；所述竖向加热电阻(15)沿水平方向上均匀分布；所述搅拌装置(16)位于第一匀流板(17)的一侧；

所述出水槽(13)的一端通过第二匀流板(18)与槽体(11)连通，另一端设置有出水口(131)；所述槽体(11)的底部设置有保温加热电阻(110)，所述槽体(11)内设置有温度传感器，所述温度传感器、横向加热电阻(20)、竖向加热电阻(15)以及保温加热电阻(110)均与加热控制器(19)电连接；

所述硅片转运装置(2)包括安装座(211)，所述安装座(211)上设置有转盘，所述转盘上安装有竖向滑柱(21)，所述竖向滑柱(21)上设置有滑台(22)，所述滑台(22)上设置有第一伸缩装置(23)，所述第一伸缩装置(23)一端与滑台(22)固定连接，另一端设置有支撑臂(25)，所述支撑臂(25)一端与伸缩装置(23)通过转动关节(24)连接；所述支撑臂(25)的另一端的下方设置有第二转盘(26)，所述第二转盘(26)上设置有第二伸缩装置(27)，所述第二伸缩装置(27)的下端设置有夹爪(28)；

所述夹爪(28)包括固定板、固定夹爪(281)和动夹爪(282)，所述固定夹爪(281)固定安装在固定板上，所述动夹爪(282)沿固定板的长度方向滑动安装在固定板上；所述固定板上设置有驱动动夹爪(282)沿固定板的长度方向滑动的滑动驱动装置；所述固定夹爪(281)和动夹爪(282)之间形成抓夹区间，所述固定板下表面设置有喷头(29)，所述支撑臂(25)上设置有增压泵(210)；所述喷头(29)与增压泵(210)连通，所述喷头(29)位于抓夹区间内。

2.如权利要求1所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述槽体(11)具有的开槽口的上端上设置有保温加热装置(111)。

3.如权利要求2所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述竖向加热电阻(15)端延伸到槽体(11)内，另一端设置有固定安装板，所述竖向加热电阻(15)穿过固定安装板且与固定安装板螺纹配合。

4.如权利要求3所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述搅拌装置(16)包括驱动电机、搅拌轴；所述搅拌轴竖直插入到槽体(11)内，所述搅拌轴上设置有搅拌叶片，所述搅拌轴通过驱动电机驱动转动。

5.如权利要求4所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述搅拌叶片在搅拌轴上沿轴线方向均匀分布，且沿搅拌轴的圆周方向均匀分布。

6.如权利要求5所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述搅拌轴的轴线方向上同一高度的搅拌叶片为搅拌叶片组；每组搅拌叶片组至少包括三片搅拌叶片。

7.如权利要求6所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：在搅拌轴上至少具有三组搅拌叶片组。

8.如权利要求1所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述第一伸缩装置(23)以及第二伸缩装置(27)均采用液压缸。

9.如权利要求8所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述固定夹爪(281)的内壁上设置有嵌入内壁的喷头。

10.如权利要求9所述的硅片清洗制绒装置，其特征在于：所述转动关节(24)包括第一转接头和第二转接头(242)，所述第一转接头(241)内设置有转动驱动电机(243)，所述第二转接头(242)上设置有环形凸台(245)，所述第一转接头(241)上设置有与环形凸台(242)匹配的凹槽；所述环形凸台(242)的内圈与凹槽之间设置有轴承(246)；所述转动驱动电机(243)具有的转动轴(244)与第二转接头(242)连接，所述第一转接头(241)与第一伸缩装置(23)连接，所述第二转接头(242)与支撑臂(25)连接。