[发明专利]一种动态偏摆仪校准方法

权利要求书

1.一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1：将针规安装在振动台上；

S2：安装被校偏摆仪；

S3：安装激光测振仪；

S4：开启振动台；

S5：调节振动台的振幅为被校偏摆仪线性工作的中点；

S6：振动台稳定工作后读取激光测振仪和被校偏摆仪的示值；

S7：计算校准参数；

步骤S7中，根据步骤S6中所读取的激光测振仪和被校偏摆仪的示值计算参考点示值误差μm、频率响应特性、幅值线性度；

幅值线性度的计算方法为：

在参考频率点f_max/2处，在动态偏摆仪测量偏摆量范围以内均匀选取不少于5个偏摆量，通过调节功率放大器来调节标准振动台的振幅使得激光测振仪的位移值为选取的偏摆量值，分别测量被校动态偏摆仪的示值误差，则其幅值线性度表示为校准点的示值误差相对于参考点的示值误差的相对偏差。

2.根据权利要求1所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，步骤S1中，将标准针规安装在安装平台上，安装平台设于标准振动台上。

3.根据权利要求2所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，步骤S2中，对于光学原理的动态偏摆仪，将标准针规安装到偏摆仪测量的合适位置，将动态偏摆仪放置在XYZ轴手动位移微调平台上，根据被校偏摆仪的测量深度，调整被校偏摆仪相对于标准针规的位置；对于电容传感器原理的动态偏摆仪，按照产品说明书安装电容传感器于合适位置。

4.根据权利要求3所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，步骤S3中，固定激光测振仪使得激光打到标准针规上。

5.根据权利要求2所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，步骤S5中，通过动态信号分析仪分析采集安装平台振动频率，将数据传输至功率放大器，通过调节功率放大器根据不同转速来调整振动台的振动频率。

6.根据权利要求1所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，参考点示值误差μm的计算方法为：

根据动态偏摆仪的可测量最大转速值r_max,单位为r/min,计算标准振动台的振动最大频率f_max＝r_max/60,单位为Hz，选取f_max/2的频率点为参考频率点，被校偏摆仪最大可测偏摆量的中点l₀为参考偏摆位移点，则参考点示值误差表示为：

δ₀＝x₁-x₀

x₁——动态偏摆仪的示值，单位为μm；

x₀——激光测振仪测量的位移值，单位为μm。

7.根据权利要求6所述的一种动态偏摆仪校准方法，其特征在于，频率响应特性的计算方法为：

通过调节功率放大器来调节标准振动台的振幅为被校偏摆仪线性工作的中点l₀，在f_max以下均匀选取不少于5个频率点，分别测量选取的频率点处位移为l₀时动态偏摆仪的示值误差δ_i,则频率响应特性表示为：

δ_i——频率点处位移为l₀时动态偏摆仪的示值误差。