[发明专利]辊到辊制造设备和处理柔性膜的方法

说明书

本发明公开了一种辊到辊制造设备和一种处理柔性膜的方法，该辊到辊制造设备包括：真空室，其具有安装室和工艺室；在安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性；在工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕膜；在工艺室中的工艺处理单元，通过对卷绕在工艺筒上的膜进行CVD工艺来形成层；以及在安装室和工艺室中的多个加热器，用于逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度，以防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年11月28日提交的韩国申请第10-2016-0159702号的在先申请日的权益以及该韩国申请的优先权的权利，以上申请的全部内容通过引用并入本文中。

技术领域

本说明书涉及能够快速且连续地执行工艺并且能够防止热冲击被施加到韧性基底的辊到辊制造设备。

背景技术

近来，正在开发使用诸如塑料基底的韧性基底的柔性显示装置，以增强便携性和便利性。这种柔性显示装置以下述方式制造。首先，将由诸如聚酰亚胺的塑料材料形成的基底附接到由玻璃形成的母基底上。然后，通过包括TFT工艺的各种工艺在母基底上形成多个显示面板，然后以显示面板为单元切割母基底并且将塑料基底与母基底分离。

然而，制造这种柔性显示装置的常规方法具有以下问题。

近来，积极进行研究以降低通过连续的内联工艺来制造显示装置而带来的昂贵的显示装置的制造成本。然而，在将塑料基底附接到玻璃母基底上的情况下，需要大面积的昂贵的玻璃基底。这可能会使制造成本增加，并且由于塑料基底和玻璃基底应当彼此附接并且随后彼此分离因此需要额外的装备和工艺。因此，整个制造成本增加。

此外，即使在大的母玻璃基底上形成有多个显示面板，在母基底的单个单元中仍执行工艺。因此，不能执行连续的内联工艺。

发明内容

因此，详细描述的一个方面提供了一种能够通过在膜上形成显示面板而快速且连续地执行内联工艺的辊到辊制造设备，其中，膜在辊之间进行传送。

详细描述的另一个方面是提供一种能够通过逐渐增加卷绕在高温工艺筒上的膜的温度来防止由于从工艺筒施加到膜上的热冲击而在膜上出现褶皱的辊到辊制造设备。

为了实现这些及其他优点并且根据本说明书的目的，如本文中所实施和广泛描述的，提供了一种辊到辊制造设备，该辊到辊制造设备包括具有安装室和工艺室的真空室。预处理单元被布置在安装室中并且被配置成处理被传送的膜的表面以增强在随后的CVD工艺中的膜特性。工艺筒被设置在工艺室中并且被配置成在其上卷绕有膜。工艺处理单元设置在工艺室中并且被配置成通过对卷绕在工艺筒上的膜执行CVD工艺来形成层。

多个加热器被设置在安装室和工艺室中并且被配置成逐渐增加卷绕在工艺筒上的膜的温度，从而防止由于高温工艺筒而对膜施加热冲击。加热器可以以一个或多个安装在安装室中，并且可以以多个安装在工艺室中。

安装室的预处理单元通过等离子气体处理膜的表面。第一真空泵和第二真空泵分别设置在安装室和工艺室处，以使得预处理等离子体气体仅在安装室中流动，而不被引入工艺室。这可以防止由预处理等离子体气体与用于CVD的等离子体气体的混合引起的劣化的CVD工艺。

在本公开内容的辊到辊制造设备中，所有的工艺可以是连续的内联辊到辊工艺，每个辊到辊工艺都连接至先前的工艺和下一个工艺。在这种情况下，安装室包括：入口，通过该入口实时输入从先前的工艺区域传送的膜；以及出口，已经经历了处理的膜通过该出口实时输出到下一个工艺区域。