[发明专利]辊到辊制造设备和处理柔性膜的方法

权利要求书

1.一种辊到辊制造设备，包括：

真空室，所述真空室具有安装室和工艺室；

在所述安装室中的预处理单元，用于处理被传送的膜的表面；

在所述工艺室中的工艺筒，用于在其上卷绕所述膜；

在所述工艺室中的工艺处理单元，用于处理卷绕在所述工艺筒上的所述膜；

分别布置在所述安装室和所述工艺室处的第一真空泵和第二真空泵；

在所述工艺筒处的工艺加热器，用于将卷绕在所述工艺筒上的所述膜加热至工艺温度；

在所述安装室中的至少一个第一加热器，用于将所述膜的温度逐渐增加至第一温度；以及

至少一个第二加热器，所述至少一个第二加热器设置在所述工艺室中并且在所述至少一个第一加热器与所述工艺筒之间，用于在所述膜被卷绕在所述工艺筒上之前将已经经由所述至少一个第一加热器加热的所述膜的温度逐渐增加至高于所述第一温度的第二温度，

其中，预处理等离子体气体从所述安装室内的第一气体入口流到所述第一真空泵，并且所述预处理单元布置在所述第一气体入口附近，以使得防止预处理等离子体气体被引入所述工艺室中，以及

其中，所述预处理单元包括：

导引杆，所述导引杆附接至所述安装室，并且设置在由导引辊传送的所述膜的传送路径的两侧；

支承板，所述支承板设置在所述膜上方并通过耦接构件耦接至所述导引杆；

等离子体注入板，所述等离子体注入板附接至所述支承板，并且被配置成通过使注入到所述膜中的气体变成等离子体状态、然后注入所述预处理等离子体气体，来处理所述膜；以及

气体注入管，所述气体注入管连接至所述第一气体入口并且被配置成将气体注入到所述等离子体注入板中。

2.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述第一加热器和所述第二加热器包括红外线灯。

3.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述工艺处理单元是使用等离子体气体的CVD加工器。

4.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述预处理单元通过使用预处理等离子体气体处理膜的表面。

5.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述安装室包括：

入口，通过所述入口实时输入从先前的工艺区域传送的膜；以及

出口，已经经历了处理的膜通过所述出口实时输出到下一个工艺区域。

6.根据权利要求1所述的辊到辊制造设备，其中，所述安装室包括：

膜供应辊，用于向所述工艺室供应所述膜；以及

膜收集辊，用于收集从所述工艺室传送的膜。

7.根据权利要求6所述的辊到辊制造设备，其中，所述安装室还包括：

保护膜分离辊，用于分离附接到所述膜上的保护膜；

保护膜收集辊，用于收集所分离的保护膜；

保护膜供应辊，用于向从所述工艺室传送的膜供应保护膜；以及

保护膜附接辊，用于将所供应的保护膜附接到从所述工艺室传送的膜上。