[发明专利]显示面板母板的切割方法、显示面板、显示装置有效
申请号: | 201711175239.2 | 申请日: | 2017-11-22 |
公开(公告)号: | CN107978521B | 公开(公告)日: | 2020-03-17 |
发明(设计)人: | 高涛 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/304 | 分类号: | H01L21/304;H01L21/311;H01L21/3115;G09F9/30 |
代理公司: | 北京市立方律师事务所 11330 | 代理人: | 刘延喜 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 母板 切割 方法 显示装置 | ||
本发明实施例提供了一种显示面板母板的切割方法、显示面板、显示装置,该切割方法包括:在基板上依次制作缓冲层、层间绝缘层,缓冲层和层间绝缘层都覆盖显示面板的边缘区域;去除边缘区域位置处的部分层间绝缘层,形成第一图案,并暴露出部分缓冲层;对暴露出的缓冲层进行离子注入处理;沿切割线进行切割。由于对暴露出的缓冲层进行了离子注入处理,使得经过离子注入处理后的缓冲层变为低应力膜层,这时切割外力导致的膜层开裂就不会继续往显示屏内部延伸,能够提高产品良率。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种显示面板母板的切割方法、显示面板、显示装置。
背景技术
柔性显示是下一代显示技术的重要发展方向,该技术具有可弯曲、不易碎、超轻超薄、低功耗、便携等特点,在电子书、移动通信、笔记本、电视、公共信息等领域具有广阔的应用前景和良好的发展预期。目前柔性显示所用的基板材料为有机塑料、薄金属箔与薄玻璃等。
目前柔性显示的制备方法中,激光剥离后需要进行切割工艺,将大面板(柔性显示面板母板)分割成小面板(柔性显示面板),以便进行后段模组组装工艺,而切割常用方法有刀具切割和激光切割。因柔性显示面板母板的切割位置处具有多层无机阻隔膜,因此不管是刀具切割还是激光切割,都会因为瞬间的高压力及高热量,造成薄膜破裂的问题,进而影响柔性元件的显示特性。
综上所述,现有技术对柔性显示面板母板进行切割时,切割外力会导致薄膜破裂的问题,从而使得柔性显示面板的良率较低。
发明内容
本发明的首要目的旨在提供一种显示面板母板的切割方法,用以解决切割外力导致的薄膜破裂问题,以及解决产品良率较低的问题。
本发明的另一目的旨在提供一种显示面板,用以解决产品良率较低的问题。
本发明的又一目的旨在提供一种显示装置,用于解决产品良率较低的问题。
为了实现上述目的,本发明提供以下技术方案:
一种显示面板母板的切割方法,所述显示面板母板包括多个显示面板,且每个所述显示面板边缘区域设置有切割线;该切割方法包括:
在基板上依次制作缓冲层、层间绝缘层,所述缓冲层和所述层间绝缘层都覆盖所述显示面板的边缘区域;
去除所述边缘区域位置处的部分所述层间绝缘层,形成第一图案,并暴露出部分所述缓冲层;
对暴露出的所述缓冲层进行离子注入处理;
沿所述切割线进行切割。
优选地,所述去除所述边缘区域位置处的部分所述层间绝缘层,形成第一图案,包括:
去除所述边缘区域位置处的部分所述层间绝缘层,形成多个支撑壁,该多个支撑壁沿着从所述显示面板边缘到所述显示面板内部的方向间隔排列。
优选地,在所述对暴露出的所述缓冲层进行离子注入处理之后,且在所述沿所述切割线进行切割之前,还包括:
进行退火处理。
优选地,所述去除所述边缘区域对应位置处的部分所述层间绝缘层,形成多个支撑壁,包括:
在所述层间绝缘层上涂覆光刻胶,通过曝光、显影,去除需要进行离子注入位置处的光刻胶,暴露出所述需要进行离子注入位置处的层间绝缘层;
对暴露出的所述层间绝缘层进行刻蚀,形成多个间隔排列的支撑壁。
优选地,所述在基板上依次制作缓冲层、层间绝缘层之前,还包括:
在所述基板上制作阻挡层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造