[发明专利]机械手指、晶片传输方法及机械手

权利要求书

1.一种机械手指，包括用于承载晶片的手指本体，在所述手指本体中设置有多个吸气孔，用于吸附所述晶片，以将所述晶片固定在所述手指本体上，其特征在于，

在所述手指本体的外侧还设置有吹气装置，用于在将所述晶片固定在所述手指本体上之后，朝向所述晶片吹气；

所述吹气装置包括吹气环体，所述吹气环体环绕设置在所述手指本体的外周面；所述吹气环体中设置有多个吹气孔，多个所述吹气孔沿所述吹气环体的周向均匀分布，每个所述吹气孔的出气方向均朝向所述晶片，且每个所述吹气孔的出气方向与水平方向之间的夹角均小于或者等于45°，且每个所述吹气孔的出气方向相对于水平方向向下倾斜，以通过朝向所述晶片的边缘吹气，使有下滑趋势的晶片因受到气体阻力而停止下滑。

2.根据权利要求1所述的机械手指，其特征在于，

所述手指本体包括第一环体，且所述第一环体的外径等于所述吹气环体的内径；

多个所述吸气孔沿所述第一环体的周向均匀分布。

3.根据权利要求2所述的机械手指，其特征在于，

所述手指本体还包括一个第二环体，所述第二环体设置在所述第一环体的内周面，且所述第二环体的外径等于所述第一环体的内径。

4.根据权利要求2所述的机械手指，其特征在于，

所述手指本体还包括多个互为同心环的第二环体，且相邻的两个所述第二环体中，外侧的所述第二环体的内径等于内侧的所述第二环体的外径，最外侧的所述第二环体的外径等于所述第一环体的内径；

在每个所述第二环体中均设置有多个所述吸气孔，多个所述吸气孔沿所述第二环体的周向均匀分布。

5.根据权利要求3所述的机械手指，其特征在于，所述第一环体的外径为8寸；所述第二环体的外径为6寸。

6.一种晶片传输方法，其特征在于，采用权利要求1-5任意一项所述的机械手指传输晶片，包括：

使用多个所述吸气孔吸附所述晶片，以将所述晶片固定在所述手指本体上；

使用所述吹气装置朝向所述晶片吹气。

7.根据权利要求6所述的晶片传输方法，其特征在于，根据不同的所述吸气孔吸附所述晶片的压力，调节所述吹气装置吹出的气体流量。

8.一种机械手，其特征在于，包括权利要求1-5任意一项所述的机械手指。