[发明专利]用于晶圆刻蚀的升降装置

权利要求书

1.一种用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，包括升降杆、与所述升降杆固定连接的支撑件，所述升降杆和所述支撑件上均设有齿轮传动单元，所述支撑件上还设有用于支撑并能够使晶圆转动的导向单元，所述支撑件包括第一支撑件和第二支撑件，所述第一支撑件固定连接于所述升降杆的顶部，所述第二支撑件固定连接于所述第一支撑件的侧面，所述导向单元通过能够转动的方式连接于所述第二支撑件的底部，所述齿轮传动单元包括第一圆柱齿轮、第二圆柱齿轮、第三圆柱齿轮、第一圆锥齿轮和第二圆锥齿轮，所述第一圆柱齿轮设于所述升降杆的顶部，所述第二圆柱齿轮和所述第三圆柱齿轮共同设于所述第一支撑件的顶部，且所述第二圆柱齿轮与所述第一圆柱齿轮相啮合，所述第三圆柱齿轮与所述第二圆柱齿轮相啮合，所述第一圆锥齿轮通过连接杆设于所述第三圆柱齿轮的底部并与所述第三圆柱齿轮同轴设置，所述第二圆锥齿轮设于所述第二支撑件的侧面并与所述第一圆锥齿轮相啮合，且所述第二圆锥齿轮的端面与所述导向单元的输入端相连接，从而驱动所述导向单元完成对晶圆的转动。

2.根据权利要求1所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述第一圆柱齿轮、所述第二圆柱齿轮和所述第三圆柱齿轮均为直齿轮。

3.根据权利要求1所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述导向单元包括第一导向杆、第二导向杆和第三导向杆，所述第一导向杆的第一端穿过所述第二支撑件并与所述第二圆锥齿轮的端面相连接，且所述第一导向杆的第一端能够与所述第二支撑件之间发生转动，所述第二导向杆和所述第三导向杆的第一端同样穿过所述第二支撑件并能够与所述第二支撑件之间发生转动，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆的第二端用于支撑所述晶圆。

4.根据权利要求3所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆之间设定为等腰三角形，所述第二导向杆和所述第三导向杆处于同一竖直高度且高于所述第一导向杆的高度。

5.根据权利要求4所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆上均设有轴承，所述轴承固定连接于所述第二支撑件上。

6.根据权利要求3所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆的外圆周面上设有多个能够支撑所述晶圆的定位槽。

7.根据权利要求3所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，还包括导向杆连接架，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆的第二端共同连接于所述导向杆连接架。

8.根据权利要求3所述的用于晶圆刻蚀的升降装置，其特征在于，所述第一导向杆、所述第二导向杆和所述第三导向杆上均设有防酸涂层。