[发明专利]气浮轴承模块

说明书

本发明公开一种气浮轴承模块，包括导轨、滑块、第一气浮板及第二气浮板。导轨具有第一表面及第二表面。滑块具有沟槽、第一内壁面及第二内壁面，导轨穿设于沟槽，以使滑块适于相对导轨滑动。第一气浮板位在第一表面与第一内壁面之间，第一气浮板与第一内壁面之间存在第一气腔，第一气浮板与第一表面之间存在第一气浮间隙。第二气浮板位在第二表面与第二内壁面之间，第二气浮板与第二内壁面之间存在第二气腔，第二气浮板与第二表面之间存在第二气浮间隙。本发明在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整。

技术领域

本发明涉及一种气浮轴承模块，且特别是有关于一种可微型化、可高精密的动态调整且具有高刚性的气浮轴承模块。

背景技术

随着工业技术的发展，非接触式轴承模块已实际应用在众多领域中。非接触式轴承模块以气浮轴承模块为例，其在导轨与滑块之间充入空气，而在导轨与滑块之间形成气膜(空气层)。如此一来，导轨与滑块在滑动过程中便不会直接接触，避免于滑动时导轨与滑块摩擦，而降低了元件损耗的机率。

目前，传统的气浮轴承模块若是使用螺丝去调整导轨与滑块之间的气浮间隙，受限于螺丝尺寸，气浮轴承模块难以微型化，亦或者无法进行高精密的动态调整。此外，若滑块或导轨在不同区域存在尺寸上的公差时，滑块与不同区域的导轨之间气浮间隙会忽大忽小，使得位在导轨与滑块之间的气浮间隙内的气膜无法维持高刚性。

发明内容

本发明的目的在于提供一种气浮轴承模块，使其在尺寸上可达到微型化或可高精密的动态调整，且可在导轨与滑块之间提供高刚性的气膜。

为实现上述目的，本发明提供一种气浮轴承模块，包括一导轨、一滑块、一第一气浮板及一第二气浮板。导轨具有一第一表面及一第二表面。滑块具有一沟槽以及紧邻沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，导轨穿设于沟槽中，以使滑块适于相对导轨滑动，其中第一内壁面朝向第一表面，第二内壁面朝向第二表面。第一气浮板设置于沟槽内，并位在导轨的第一表面与滑块的第一内壁面之间，第一气浮板与滑块的第一内壁面之间存在一第一气腔，第一气浮板与导轨的第一表面之间存在一第一气浮间隙。第二气浮板设置于沟槽内，并位在导轨的第二表面与滑块的第二内壁面之间，第二气浮板与滑块的第二内壁面之间存在一第二气腔，第二气浮板与导轨的第二表面之间存在一第二气浮间隙。

在本发明的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包含一第一气流通道、一第二气流通道、一第三气流通道及一第四气流通道，第一气流通道连通至第一气浮间隙，第二气流通道连通至第一气腔，第三气流通道连通至第二气浮间隙，第四气流通道连通至第二气腔，第二气流通道与第四气流通道独立于彼此。

在本发明的一实施例中，上述的第一气流通道与第二气流通道设置于第一气浮板，第三气流通道与第四气流通道设置于第二气浮板。

在本发明的一实施例中，上述的第一气流通道设置于第一气浮板，第二气流通道设置于滑块，第三气流通道设置于第二气浮板，第四气流通道设置于滑块。

在本发明的一实施例中，上述的第一气浮板包括一第一凹陷气路，第一凹陷气路朝向导轨的第一表面设置且连通于第一气流通道，第二气浮板包括一第二凹陷气路，第二凹陷气路朝向导轨的第二表面设置且连通于第三气流通道。

在本发明的一实施例中，上述的导轨的第一表面邻接于第二表面。

在本发明的一实施例中，上述的气浮轴承模块更包括一第一挠性环及一第二挠性环。第一挠性环配置于第一气浮板与滑块的第一内壁面之间，第一气腔位于第一气浮板、滑块的第一内壁面与第一挠性环所环绕的范围之内。第二挠性环配置于第二气浮板与滑块的第二内壁面之间，第二气腔位于第二气浮板、滑块的第二内壁面与第二挠性环所环绕的范围之内。