[发明专利]气浮轴承模块

权利要求书

1.一种气浮轴承模块，其特征在于，包括：

一导轨，具有一第一表面及一第二表面；

一滑块，具有一沟槽以及紧邻该沟槽的一第一内壁面及一第二内壁面，该导轨穿设于该沟槽中，以使该滑块适于相对该导轨滑动，其中该第一内壁面朝向该第一表面，该第二内壁面朝向该第二表面；

一第一气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第一表面与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间存在一第一气腔，该第一气浮板与该导轨的该第一表面之间存在一第一气浮间隙；以及

一第二气浮板，设置于该沟槽内，并位在该导轨的该第二表面与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间存在一第二气腔，该第二气浮板与该导轨的该第二表面之间存在一第二气浮间隙。

2.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包含一第一气流通道、一第二气流通道、一第三气流通道及一第四气流通道，该第一气流通道连通至该第一气浮间隙，该第二气流通道连通至该第一气腔，该第三气流通道连通至该第二气浮间隙，该第四气流通道连通至该第二气腔，该第二气流通道与该第四气流通道独立于彼此。

3.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道与该第二气流通道设置于该第一气浮板，该第三气流通道与该第四气流通道设置于该第二气浮板。

4.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气流通道设置于该第一气浮板，该第二气流通道设置于该滑块，该第三气流通道设置于该第二气浮板，该第四气流通道设置于该滑块。

5.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第一气浮板包括一第一凹陷气路，该第一凹陷气路朝向该导轨的该第一表面设置且连通于该第一气流通道，该第二气浮板包括一第二凹陷气路，该第二凹陷气路朝向该导轨的该第二表面设置且连通于该第三气流通道。

6.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，该导轨的该第一表面邻接于该第二表面。

7.根据权利要求1所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包括：

一第一挠性环，配置于该第一气浮板与该滑块的该第一内壁面之间，该第一气腔位于该第一气浮板、该滑块的该第一内壁面与该第一挠性环所环绕的范围之内；以及

一第二挠性环，配置于该第二气浮板与该滑块的该第二内壁面之间，该第二气腔位于该第二气浮板、该滑块的该第二内壁面与该第二挠性环所环绕的范围之内。

8.根据权利要求2所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包括：

一第三气浮板，设置于该沟槽内，其中该导轨更具有一第三表面，该第三表面位于该第一表面与该第二表面之间，该滑块具有朝向该第三表面的一第三内壁面，该第三气浮板位在该导轨的该第三表面与该滑块的该第三内壁面之间，该第三气浮板与该滑块的该第三内壁面之间存在一第三气腔，该第三气浮板与该导轨的该第三表面之间存在一第三气浮间隙。

9.根据权利要求8所述的气浮轴承模块，其特征在于，更包含独立于彼此的一第五气流通道及一第六气流通道，该第五气流通道连通至该第三气浮间隙，该第六气流通道连通至该第三气腔。

10.根据权利要求9所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第五气流通道与该第六气流通道分别设置于该第三气浮板。

11.根据权利要求9所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第五气流通道设置于该第三气浮板，该第六气流通道设置于该滑块。

12.根据权利要求9所述的气浮轴承模块，其特征在于，该第三气浮板包括一第三凹陷气路，该第三凹陷气路朝向该导轨的该第三表面设置且连通于该第五气流通道。