[发明专利]制备碳纳米管薄膜的方法有效
| 申请号： | 201711161568.1 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN109809391B | 公开（公告）日： | 2020-12-29 |
| 发明（设计）人： | 韩杰 | 申请（专利权）人： | 北京华碳元芯电子科技有限责任公司 |
| 主分类号： | C01B32/168 | 分类号： | C01B32/168;C03C17/22 |
| 代理公司： | 北京庚致知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11807 | 代理人： | 李伟波;韩德凯 |
| 地址： | 100086 北京市海淀区中*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 纳米 薄膜 方法 | ||
1.一种制备碳纳米管薄膜的方法，其特征在于，所述方法包括：
将基底放置在处于第一温度的碳纳米管有机溶液中，其中所述基底在所述碳纳米管有机溶液中放置设定时间；
在所述设定时间之后，使用多种有机溶液对所述基底进行清洗，其中所述多种有机溶液的极性不同，在清洗的过程中，按照低极性有机溶液至高极性有机溶液的顺序对所述基底进行清洗；以及
使经过清洗的所述基底变干，以得到形成在所述基底的表面上的均匀的碳纳米管薄膜。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一温度低于所述碳纳米管有机溶液的沸点。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述将基底放置在处于第一温度的碳纳米管有机溶液中的步骤还包括：将所述基底放置在处于所述第一温度的所述碳纳米管有机溶液中10分钟至600分钟。
4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述第一温度为65摄氏度。
5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述使用多种有机溶液对所述基底进行清洗的步骤包括：使用所述多种有机溶液中的每种有机溶液分别清洗所述基底至少5分钟。
6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述多种有机溶液包括：甲苯溶液、四氢呋喃溶液和丙酮溶液。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述基底包括二氧化硅基底、蓝宝石基底、石英基底或塑料基底。
8.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其特征在于，所述使经过清洗的所述基底变干的步骤包括：
使用氮气将经过清洗的所述基底吹干。
9.根据权利要求1至6中任一项所述 的方法，其特征在于，所述碳纳米管有机溶液包括碳纳米管分散液，所述碳纳米管分散液是通过将碳纳米管分散在有机溶剂中形成的。
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