[发明专利]一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置

权利要求书

1.一种用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：包括盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)、锁紧固定块(3)、磁铁型锁紧器(4)、锁紧销(5)、上盖拆卸块(8)及拆卸组件，其中盘盖本体(1)上设有上盖保温固定块(2)，该上盖保温固定块(2)的一端安装在所述盘盖本体(1)上，另一端连接有所述锁紧销(5)；所述盘盖本体(1)的周围设有安装在晶圆烘烤单元的锁紧固定块(3)，该锁紧固定块(3)上安装有所述磁铁型锁紧器(4)，所述锁紧销(5)的一端连接于上盖保温固定块(2)上，另一端插入该磁铁型锁紧器(4)中，通过磁力固定；所述盘盖本体(1)上设有上盖拆卸块(8)，所述拆卸组件在盘盖本体(1)需要拆卸时插入上盖拆卸块(8)与盘盖本体(1)之间的缝隙，克服所述锁紧销(5)与磁铁型锁紧器(4)之间的磁力抬起盘盖本体(1)、上盖保温固定块(2)及锁紧销(5)，该锁紧销(5)在所述盘盖本体(1)拆卸过程中脱离磁铁型锁紧器(4)，进而将盘盖本体(1)移出晶圆烘烤单元。

2.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述磁铁型锁紧器(4)的一端安装在锁紧固定块(3)上开设的凹槽A(11)中、且该端开设有供所述锁紧销(5)另一端插入的锁紧槽，所述磁铁型锁紧器(4)的另一端由所述锁紧固定块(3)伸出，并由螺母锁紧固定。

3.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述锁紧销(5)的一端由上盖保温固定块(2)上开设的凹槽B(12)穿过，并通过位于该凹槽B(12)内的螺母紧固。

4.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述上盖保温固定块(2)与锁紧固定块(3)的数量相同，并一一对应。

5.根据权利要求4所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述锁紧固定块(3)为两个，对称分布于所述盘盖本体(1)的左右两侧；所述上盖保温固定块(2)为两个，对称分布于所述盘盖本体(1)的左右两侧，该上盖保温固定块(2)的一端固定在盘盖本体(1)的边缘，另一端连接有两个锁紧销(5)，所述锁紧固定块(3)上对应地安装有两个磁铁型锁紧器(4)。

6.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述上盖拆卸块(8)为一组两个，每个上盖拆卸块(8)的一端均固定在所述盘盖本体(1)上，另一端与该盘盖本体(1)之间留有所述缝隙。

7.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述拆卸组件包括盘盖拆卸板(9)及盘盖拆卸扳手(10)，该盘盖拆卸板(9)的一端在盘盖本体(1)需要拆卸时插入所述上盖拆卸块(8)与盘盖本体(1)之间的缝隙中，另一端与所述盘盖拆卸扳手(10)相连。

8.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：在抬起盘盖本体(1)的外力大于所述锁紧销(5)与磁铁型锁紧器(4)之间的磁力时，该锁紧销(5)脱离磁铁型锁紧器(4)。

9.根据权利要求1所述用于晶圆烘烤单元的盘盖快速拆卸装置，其特征在于：所述磁铁型锁紧器(4)水平放置。