[发明专利]显影液过滤系统及显影液的过滤方法

权利要求书

1.一种显影液过滤系统，包含：

一循环过滤模块，包含：

一容置槽，选择地连通于一显影液供应槽，并接收来自该显影液供应槽的一显影液；

至少一第一过滤器，被配置以过滤该循环过滤模块的一循环回路中的该显影液；以及

一流体控制器，被配置以选择地输出来自该第一过滤器的该显影液至一检测级；以及

一第二过滤器，设置于该显影液供应槽与该容置槽之间或设置于该流体控制器与该检测级之间，并设置于该循环回路外，被配置以过滤来自该显影液供应槽或来自该第一过滤器的该显影液，其中该第二过滤器包含一高密度聚乙烯过滤膜。

2.如权利要求1所述的显影液过滤系统，其中该显影液包含醚类、酮类或酯类溶剂。

3.如权利要求1所述的显影液过滤系统，其中该第一过滤器包含一高密度聚乙烯过滤膜。

4.如权利要求1所述的显影液过滤系统，其中该第一过滤器的材质不同于该第二过滤器的材质，且该第二过滤器的过滤孔径小于该第一过滤器的过滤孔径。

5.如权利要求1、2、3或4所述的显影液过滤系统，还包括至少一热交换器，设置于该循环过滤模块与该显影液供应槽之间、该循环回路中或该循环过滤模块与该第二过滤器之间，并被配置以降低该显影液的温度。

6.一种显影液过滤系统，包含：

一循环过滤模块，包含：

一容置槽，选择地连通于一显影液供应槽，并接收来自该显影液供应槽的一显影液；

至少一第一过滤器，被配置以过滤该循环过滤模块的一循环回路中的该显影液；以及

一流体控制器，被配置以选择地输出来自该第一过滤器的该显影液至一检测级；

一第二过滤器，设置于该显影液供应槽与该容置槽之间或设置于该流体控制器与该检测级之间，设置于该循环回路外，被配置以过滤来自该显影液供应槽或来自该第一过滤器的该显影液；以及

一冷却装置，连接该第二过滤器，被配置以降低流经该第二过滤器的该显影液的温度。

7.如权利要求6所述的显影液过滤系统，其中该第二过滤器包含一高密度聚乙烯过滤膜，且该显影液包含醚类、酮类或酯类溶剂。

8.如权利要求6或7所述的显影液过滤系统，还包括至少一热交换器，设置于该显影液供应槽与该第二过滤器之间及/或该流体控制器与该第二过滤器之间，并被配置以降低来自该显影液供应槽及/或该流体控制器的该显影液的温度。

9.一种显影液的过滤方法，包含：

提供一显影液至一循环回路；

于该循环回路中以一第一过滤器过滤该显影液；

由该循环回路输出该显影液至一检测级；

降低该显影液的温度；以及

通过一第二过滤器过滤提供至该循环回路前的该显影液或由该循环回路输出的该显影液，其中该第二过滤器设置于该循环回路外。

10.如权利要求9所述的显影液的过滤方法，其中该第二过滤器的过滤孔径小于该第一过滤器的过滤孔径。