[发明专利]柔性显示面板及制作方法在审
申请号: | 201711156838.X | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN107731885A | 公开(公告)日: | 2018-02-23 |
发明(设计)人: | 郑颖 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32;H01L21/77 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 面板 制作方法 | ||
1.一种柔性显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
在玻璃基底的第一表面上形成剥离层;
在所述剥离层表面以及位于所述剥离层两侧的所述玻璃基底的第一表面上形成覆盖所述剥离层的柔性基板;
在所述柔性基板上依次形成器件层及封装层;
沿着所述剥离层相对两侧侧面所在的平面切割依次层叠设置的所述玻璃基底、所述柔性基板、所述器件层以及所述封装层以形成柔性显示面板基体;
去除所述剥离层以使所述玻璃基底与所述柔性基板分离以形成所述柔性显示面板。
2.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述去除所述剥离层以使所述玻璃基底与所述柔性基板分离以形成所述柔性显示面板的步骤包括:
对切割后的所述玻璃基底的与所述第一表面相对的第二表面进行曝光,以使所述剥离层发生分解;
将粘结有所述剥离层的所述柔性显示面板基体置于显影液中,以使所述柔性基板因所述剥离层发生溶解与所述玻璃基底分离。
3.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述去除所述剥离层以使所述玻璃基底与所述柔性基板分离以形成所述柔性显示面板的步骤包括:将磁铁置于切割后的所述玻璃基底的与所述第一表面相对的第二表面,以使所述剥离层吸附于所述玻璃基底的所述第一表面,进而使所述玻璃基底与所述柔性基板分离。
4.根据权利要求2所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述剥离层的材料包括正性光刻胶,所述正性光刻胶为感光树脂、增感剂和溶剂组成的对光敏感的混合溶液。
5.根据权利要求3所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述剥离层的材料包括磁性材料,所述磁性材料为磁性四氧化三铁。
6.根据权利要求5所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述磁性四氧化三铁通过共沉淀法、溶胶-凝胶法、微乳液法以及水热法的一种合成。
7.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,在玻璃基底的第一表面上形成剥离层的步骤包括:对所述玻璃基底进行预处理,清除所述玻璃基底上的杂质及有机物,以及在玻璃基底的第一表面上形成剥离层。
8.根据权利要求1所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,所述器件层的器件包括薄膜晶体管以及有机发光二极管。
9.根据权利要求2所述的柔性显示面板的制作方法,其特征在于,对切割后所述玻璃基底的与所述第一表面相对的第二表面进行曝光,以使所述剥离层发生分解的步骤包括:利用紫外光对所述玻璃基底的所述第二表面进行曝光。
10.一种柔性显示面板,其特征在于,由权利要求1-9任一项的柔性显示面板的制作方法制作而成。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的