[发明专利]一种防着板及其制备方法和应用

说明书

本发明提供了一种防着板，所述防着板包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点。当外界温度达到或超过第一金属层的熔点，第一金属层连带第二金属层以及溅镀的薄膜层就可以整体从基板剥离，达到清洗防着板的目的，操作简单方便，便于清洗防着板。本发明还提供了一种防着板的制备方法和应用。

技术领域

本发明涉及薄膜沉积领域，尤其涉及一种防着板及其制备方法和应用。

背景技术

采用物理气相沉积(PVD)的方法溅镀薄膜时，镀膜材料除了会沉积在基板以外，还会沉积到反应腔的内壁上，造成镀膜设备部件损坏。为了防止此现象的发生，需要在反应腔的内壁覆盖防着板。因此在PVD镀膜过程中，防着板上形成的薄膜厚度也会增加，为了避免防着板上薄膜层的脱落，需要对防着板进行清洗，除去表面附着的薄膜层。

目前，防着板上附着的薄膜层可以采用高压水刀冲洗或者化学试剂溶解清洗。但是高压水刀冲洗工艺需要配套的设备进行，花费较大，同时会对防着板造成损伤，化学试剂溶解清洗也会对防着板造成损伤，影响防着板的再次利用和使用寿命。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种防着板，包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点。当外界温度达到或超过第一金属层的熔点，第一金属层连带第二金属层以及溅镀的薄膜层就可以整体从基板剥离，达到清洗防着板的目的，操作简单方便，便于清洗防着板。本发明还提供了一种防着板的制备方法和应用。

第一方面，本发明提供了一种防着板，包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点。

可选的，所述第一金属层的熔点为47℃-400℃，所述第二金属层的熔点大于 400℃。

可选的，所述第一金属层和所述第二金属层的材质独立地选自铋、锡、铅、铟、镁、铝、铜、镉、镓、铊、锌、锑、镍、钛、钴、钒中的一种或者多种的组合。

可选的，所述第一金属层的厚度为0.1mm-2.0mm，所述第二金属层的厚度为0.1mm-2.0mm。

可选的，当所述防着板清洗时外界温度达到或者超过所述第一金属层的熔点，所述第一金属层和第二金属层整体从所述基板上剥离。

可选的，所述基板的材质包括铝、镁、镍、铜、锌、铁中的一种或者多种的组合。

可选的，所述基板的熔点大于所述第一金属层的熔点。

第二方面，本发明提供了一种防着板的制备方法，包括：

提供一基板；

采用超音速冷喷涂工艺在所述基板上形成第一金属层；

采用超音速冷喷涂工艺在所述第一金属层上形成第二金属层，制成防着板，其中所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点。

可选的，所述超音速冷喷涂工艺中喷涂金属颗粒的速度为300-1000m/s。

可选的，所述第一金属层的熔点为47℃-400℃，所述第二金属层的熔点大于 400℃。

可选的，所述第一金属层和所述第二金属层的材质独立地选自铋、锡、铅、铟、镁、铝、铜、镉、镓、铊、锌、锑、镍、钛、钴、钒中的一种或者多种的组合。

可选的，所述第一金属层的厚度为0.1mm-2.0mm，所述第二金属层的厚度为0.1mm-2.0mm。

可选的，当所述防着板清洗时外界温度达到或者超过所述第一金属层的熔点，所述第一金属层和第二金属层就可以整体从所述基板上剥离。