[发明专利]一种防着板及其制备方法和应用有效
| 申请号： | 201711156237.9 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107946164B | 公开（公告）日： | 2019-09-27 |
| 发明（设计）人： | 张军 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;C23C24/04 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 郝传鑫;熊永强 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 防着 及其 制备 方法 应用 | ||
1.一种防着板，其特征在于，包括基板以及位于所述基板上的第一金属层和位于所述第一金属层的上的第二金属层，所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点，所述第一金属层的熔点为47℃-400℃，当所述防着板清洗时外界温度达到或者超过所述第一金属层的熔点，所述第一金属层和第二金属层从所述基板上剥离。
2.如权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述第二金属层的熔点大于400℃。
3.如权利要求1或2所述的防着板，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层的材质独立地选自铋、锡、铅、铟、镁、铝、铜、镉、镓、铊、锌、锑、镍、钛、钴、钒中的一种或者多种的组合。
4.如权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述第一金属层的厚度为0.1mm-2.0mm，所述第二金属层的厚度为0.1mm-2.0mm。
5.如权利要求1所述的防着板，其特征在于，所述基板的材质包括铝、镁、镍、铜、锌、铁中的一种或者多种的组合。
6.一种防着板的制备方法，其特征在于，包括：
提供一基板；
采用超音速冷喷涂工艺在所述基板上形成第一金属层；
采用超音速冷喷涂工艺在所述第一金属层上形成第二金属层，制成防着板，其中所述第一金属层的熔点低于所述第二金属层的熔点，所述第一金属层的熔点为47℃-400℃。
7.如权利要求6所述的防着板的制备方法，其特征在于，所述超音速冷喷涂工艺中喷涂金属颗粒的速度为300-1000m/s。
8.如权利要求6所述的防着板的制备方法，其特征在于，所述第一金属层和所述第二金属层的材质独立地选自铋、锡、铅、铟、镁、铝、铜、镉、镓、铊、锌、锑、镍、钛、钴、钒中的一种或者多种的组合。
9.一种镀膜沉积设备，其特征在于，包括权利要求1-5任一项所述的防着板或权利要求6-8任一项所述的制备方法制备得到的防着板。
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