[发明专利]具有转动单元的辊对辊制造系统有效
申请号: | 201711156167.7 | 申请日: | 2017-11-20 |
公开(公告)号: | CN108123068B | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 金南国;李承烈;朴帝俊;宋泰俊;李臣馥;李敬勋 | 申请(专利权)人: | 乐金显示有限公司 |
主分类号: | H01L51/56 | 分类号: | H01L51/56 |
代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 李辉;刘久亮 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 具有 转动 单元 制造 系统 | ||
具有转动单元的辊对辊制造系统。在该辊对辊制造系统中,设置有多个沉积单元,并且在沉积单元之间设置有转动单元。该沉积单元包括:其上缠绕有膜的沉积鼓;以及一个或多个蒸发器,其被设置为面对沉积鼓,并且被配置为沉积缠绕在沉积鼓上的膜。该转动单元包括多个转动辊,并且被配置为转动从一个沉积单元输出的膜、引导膜并将膜提供给另一个沉积单元。
技术领域
本公开涉及显示装置,并且更具体地,涉及一种具有用于制造显示装置的转动单元的辊对辊(roll to roll)制造系统,其能够通过防止膜的沉积表面接触辊来防止损坏沉积层。
背景技术
近来,已经提出了具有有机发光器件的显示装置或照明装置。具有有机发光器件的显示装置由于其比液晶显示装置或等离子体显示装置具有更高的响应速度、更低的功耗、更高的分辨率和更大的屏幕而备受瞩目。另外,具有有机发光器件的照明装置比具有无机发光器件的显示装置具有更好的绿色和红色发光效率以及相对更宽的RGB发光峰值的宽度。因此,具有有机发光器件的照明装置具有增强的再现性,从而具有其光更类似于太阳光的优点。
这种有机发光器件包括由透明氧化物形成并设置在由玻璃或塑料形成的基板上的阳极、由依次层叠在阳极上的空穴传输层、有机发光层、电子传输层、电子注入层等形成的有机发光单元以及设置在有机发光单元上的阴极。
在这种有机发光器件中,一旦来自阳极的空穴和来自阴极的电子被注入到有机发光层,则在有机发光层中产生了激子。当激子衰变时,产生与发光层的最低未占据分子轨道(LUMO)与最高占据分子轨道(HOMO)之间的能量差对应的光。不同于液晶显示装置或等离子体显示装置,因为有机发光器件的主要处理包括沉积处理和封装处理,所以有机发光器件可以通过相对简单的制造处理来制造。这可以使能够快速地制造有机发光器件,并且可以减少制造成本。
然而,有机发光器件具有以下问题。一般地,通过在由玻璃或塑料形成的基板上沉积阳极、有机发光层和阴极以及通过执行封装处理来制造有机发光器件。这里,阳极、有机发光层和阴极以片材对片材(sheet to sheet)的方式来沉积。更具体地,由诸如机器人这样的转印装置来将具有预设尺寸的基板加载到沉积装置上,从而进行沉积处理。然后,由转印装置来将沉积的基板转印到下一个沉积装置,从而进行沉积处理。结果,完成了有机发光器件的制造处理。
然而,由于有机发光层由诸如空穴传输层、发光层、电子传输层和电子注入层这样的各种层形成,所以需要用于形成多个层的多个沉积装置来形成有机发光器件。另外,在多个沉积装置当中需要用于转印基板的多个转印装置。由于诸如机器人这样的转印装置昂贵并且占据较大的空间,所以显著增大了安装成本并且需要较大的安装空间。
此外,在片材对片材方式的情况下,沉积处理应彼此同步,并且沉积处理和转印处理应彼此同步。这可能会导致进行连续沉积处理的问题。而且,可能会由于当在连续沉积处理中转印基板时发生的沉积装置的空白空间(即,基板的未加载状态)而损失昂贵的材料。
发明内容
因此,本公开的一方面在于提供一种辊对辊制造系统,该辊对辊制造系统能够通过以辊对辊的方式执行沉积来以连续内联的方式执行处理。
本公开的另一方面在于提供一种辊对辊制造系统,该辊对辊制造系统能够通过防止膜的沉积表面接触另一结构、通过布置在多个沉积单元之间具有多个转动辊的转动单元来防止沉积层的损坏。
为了实现这些和其它优点并根据本说明书的目的,如本文所实现和广泛描述的,提供了一种辊对辊制造系统,该辊对辊制造系统包括:多个沉积单元;以及设置在沉积单元之间的转动单元。该沉积单元包括:沉积鼓,其上缠绕有膜;以及一个或更多个蒸发器,所述一个或更多个蒸发器被设置为面对沉积鼓并且被配置为沉积缠绕在沉积鼓上的所述膜。
沉积鼓由诸如具有高热导率的金属这样的材料形成,并且冷却在沉积处理期间其温度升高的膜,以防止由于温度升高而导致膜损坏。另外,在沉积鼓上设置有致冷通道以有效地冷却膜。
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