[发明专利]一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法

说明书

本发明公开了一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法。该方法具体为：将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。

技术领域

本发明涉及自动检测和识别的应用领域，具体涉及一种基于显微镜聚焦和失焦的实时鉴别超薄透明板(1微米-1厘米)上的微小灰尘、划痕等瑕疵，并能区分瑕疵位于板的上表面或下表面的检测方法。

背景技术

透明薄板渗透在人们生活、生产的方方面面。随着科学技术的发展，显示屏、眼镜、透明保护层等平板器件变得越来越轻薄，显示器件已经达到微米量级，这也带来了一些新的难以解决的问题。这些薄的透明板表面如果出现了灰尘、划痕和裂纹等瑕疵，会对器件和产品带来不可估量的影响。

而对于非常薄的透明板，其表面如果出现了瑕疵信息，虽然很容易发现表面是否有瑕疵，但是却很难判断该瑕疵是在薄板的哪一个表面，所以在实际生产过程中，就不得不对两个表面同时进行清洁，这大大增加了工作成本。因此，迫切需要一种简单有效的方法能够检测出瑕疵是位于超薄透明板的上表面还是下表面上。

发明内容

为此，本发明的目的在于提供一种基于显微镜聚焦和失焦的方法来区分微小瑕疵具体位于超薄透明板的哪个表面上的检测方法。

本发明采用的技术方案是：

一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。

进一步地，所述显微镜的总放大倍数为10-400。

进一步地，所述显微镜具有微调焦距的旋钮。

进一步地，所述显微镜还与电脑相连接，将显微镜观测到的图片传输到电脑上显示。

进一步地，所述待测超薄透明板的厚度为1微米-1厘米。

进一步地，所述待检测超薄透明板的两个表面相互平行或者不平行。

进一步地，所述待检测超薄透明板的两个表面为平整表面或者为不平整表面。

进一步地，所述待检测超薄透明板上的瑕疵信息的尺寸最小可以到达到0.2微米

利用上述检测方法，通过微调显微镜的物镜向上或者向下移动，观察瑕疵信息的清晰和模糊情况，就可以直接判断瑕疵的位置信息。本发明具有以下有益效果：

(1)本发明的检测方法能够区分微小瑕疵在超薄透明板的上表面还是下表面上，系统结构简单，在光学检测领域有广泛应用前景。

(2)本发明可以区分不同材料、不同厚度、不同平整程度的透明薄板，适用范围宽。

(3)本发明只需要任意普通光学显微镜即可，容易实现、成本低。

(4)本发明可以检测区分薄板上小至0.2um的瑕疵信息。

(5)本发明的检测方法简单、有效、检测结果精确，能快速实现对于微米量级的超薄板上下表面微小瑕疵的检测。

附图说明