[发明专利]一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法

权利要求书

1.一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，将显微镜聚焦的位置介于待测超薄透明板的上表面和下表面之间，然后微调显微镜的物镜向上或向下移动，使聚焦位置逐渐靠近待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果待测超薄透明板上的瑕疵信息变得更清楚了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变大，则说明瑕疵位于待测超薄透明板的上表面或者下表面，如果瑕疵信息变的更模糊了，即对应图像的瑕疵边缘梯度变小，则说明瑕疵信息位于待测超薄透明板的下表面或者上表面。

2.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述显微镜的总放大倍数为10-400。

3.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述显微镜具有微调焦距的旋钮。

4.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述显微镜还与电脑相连接，将显微镜观测到的图片传输到电脑上显示。

5.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待测超薄透明板的厚度为1微米-1厘米。

6.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待测超薄透明板的两个表面相互平行或者不平行。

7.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待测超薄透明板的两个表面为平整表面或者为不平整表面。

8.根据权利要求1所述的一种利用显微镜鉴别超薄透明板表面瑕疵的检测方法，其特征在于，所述待测超薄透明板上的瑕疵信息的尺寸最小可以到达到0.2微米。