[发明专利]离子束照射装置和离子源的装拆方法

说明书

本发明提供离子束照射装置和离子源的装拆方法，能够实现离子源装拆作业效率的提高和离子源装拆机架结构的简化。离子束照射装置(ID)具有：外壳(12)，具有比配置离子束照射装置(ID)的地面(11)高的地面(4)，在内部收纳离子源(1)；以及通道(P)，从外壳(12)的外周端部朝向内侧形成在外壳(12)的地面的一部分上，形成有通道(P)的外壳(12)的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置(ID)的地面(11)的高度大致相同。

技术领域

本发明涉及使用离子束进行基板处理的离子束照射装置，该离子束照射装置能够将构成离子源的部件一次拆卸或安装。

背景技术

在离子束照射装置中，根据装置的使用状况，对构成离子源的部件整套进行拆卸或安装。专利文献1公开了这种离子源的拆卸或安装方法

当拆卸离子源时，用悬吊装置将离子源转移到作为搬运机架的支承台上，通过搬运支承台，进行离子源的搬出。按与拆卸相反的顺序进行离子源的安装。

在通过悬吊装置悬吊着离子源的状态下，由于离子源漂浮在空中，所以离子源的姿态不稳定。通过放置到支承台上来稳定离子源的姿态。

当拆卸离子源时，如果假设在离子束照射装置的外侧将离子源放置到支承台上，则由于是将姿态不稳定的离子源转移到装置外部，因此担心一直到将离子源放置到支承台上为止需要很长时间。关于这一点，当安装离子源时也相同。

另外，如果离子源的转移距离延长，则用于转移离子源的装置的规模相应地变大。

从上述观点出发，为了实现离子源安装或拆卸作业(离子源的装拆作业)的效率的提高，使用于安装或拆卸离子源的机架小型化，希望采用缩短离子源的转移距离亦即在离子束照射装置内将离子源放置到支承台上、或者从支承台吊起离子源的构成。

但是，为了实现这样的构成，存在下面所述的问题。

依存于装置的构成，离子束照射装置具有机壳，该机壳被设计为根据基板位置，成为与离子源的安装位置相同的高度。

在该机壳中，配置离子源的屏蔽壳内的地面比配置离子束照射装置的半导体工厂的地面高，在两个地面之间存在大的台阶。

由于该台阶，需要对用于放置离子源的支承台进行升降。如果支承台的升降作业这样的工序增加，则会导致离子源装拆作业的效率降低。另外，根据离子源的重量，该工序所需要的操作时间增加，当人力不能应付时，需要采取设置用于该工序的新的机构等应对措施。

现有技术文献

专利文献1：日本专利公开公报特开2016-110827号

发明内容

因此，本发明的目的在于提供实现离子源装拆作业的效率提升和离子源装拆机架的结构得到简化的离子束照射装置和离子源的装拆方法。

本发明的离子束照射装置，其具有：外壳：具有比配置所述离子束照射装置的地面高的地面，在内部收纳离子源；以及通道，从所述外壳的外周端部朝向内侧形成在所述外壳的地面的一部分上，形成有所述通道的所述外壳的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置的地面的高度相同，在所述通道设置有可装拆的地面。

由于在外壳的地面的一部分上形成有与配置离子束照射装置的地面的高度大致相同的通道，所以向外壳内搬入或向外壳外搬出离子源搬运机架时无需升降离子源搬运机架。

另外，离子源搬运机架能够搬入外壳内，因此能够缩短离子源的转移距离。

因此，能够提高离子源装拆作业的效率，简化在离子源装拆作业中使用的离子源装拆机架的结构。

为了进一步缩短离子源的转移距离，优选的是，一直到配置所述离子源的位置形成有所述通道。