[发明专利]离子束照射装置和离子源的装拆方法有效
| 申请号： | 201711143287.3 | 申请日： | 2017-11-17 |
| 公开（公告）号： | CN108573842B | 公开（公告）日： | 2019-10-15 |
| 发明（设计）人： | 西村一平;丹羽雄一;小野田正敏;立道润一 | 申请（专利权）人： | 日新离子机器株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/08 | 分类号： | H01J37/08;H01J37/317 |
| 代理公司： | 北京信慧永光知识产权代理有限责任公司 11290 | 代理人： | 周善来;李雪春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 离子束照射装置 离子源 装拆 机架结构 外周端部 作业效率 收纳 高度比 配置 | ||
【权利要求书】：
1.一种离子束照射装置，其特征在于，
所述离子束照射装置具有：
外壳：具有比配置所述离子束照射装置的地面高的地面，在内部收纳离子源；以及
通道，从所述外壳的外周端部朝向内侧形成在所述外壳的地面的一部分上，
形成有所述通道的所述外壳的地面的高度比其它部分低，与配置离子束照射装置的地面的高度相同，
所述离子束照射装置的特征在于，
在所述通道设置有可装拆的地面。
2.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其特征在于，
一直到配置所述离子源的位置形成有所述通道。
3.根据权利要求1所述的离子束照射装置，其特征在于，
所述可装拆的地面具有轮子。
4.一种离子源的装拆方法，其特征在于，
在权利要求1所述的离子束照射装置中，将所述离子源的搬运机架搬入所述通道。
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