[发明专利]激光切割掩膜板的方法、掩膜板及激光切割设备在审
| 申请号： | 201711143074.0 | 申请日： | 2017-11-16 |
| 公开（公告）号： | CN107855666A | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 左招霞 | 申请（专利权）人： | 惠州市契贝科技有限公司 |
| 主分类号： | B23K26/38 | 分类号： | B23K26/38;B23K26/18;B23K26/03 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人： | 叶剑 |
| 地址： | 516008 广东省惠州市惠城区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激光 切割 掩膜板 方法 设备 | ||
1.一种激光切割掩膜板的方法，其特征在于，包括：
于所述掩膜板上沉积一层激光防护膜，所述激光防护膜用于吸收或反射激光束；
于所述激光防护膜上制作待曝光区域，所述待曝光区域用于通过所述激光束；
将所述掩膜板定位于工作台上；
扫描所述掩膜板，得到所述掩膜板的待曝光区域的坐标数据；
根据所述待曝光区域的坐标数据控制激光头运动。
2.根据权利要求1所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，将所述掩膜板定位于工作台上的步骤具体为：
将所述掩膜板夹紧于所述工作台上，使得所述掩膜板定位于所述工作台上。
3.根据权利要求1所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，于所述掩膜板上沉积一层激光防护膜的步骤之前，还包括步骤：
对所述掩膜板进行清洗。
4.根据权利要求1所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，所述激光防护膜的厚度为1mm～3mm。
5.根据权利要求1所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，扫描所述掩膜板的步骤包括：
通过相机系统扫描所述掩膜板，得到所述掩膜板的点云数据；
对所述掩膜板的点云数据进行处理，得到所述掩膜板的待曝光区域的坐标数据。
6.根据权利要求5所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，对所述掩膜板的点云数据进行处理的步骤包括：
对所述掩膜板的点云数据进行去噪；
将去噪后的点云数据进行拟合，得到所述待曝光区域的轮廓；
根据所述待曝光区域的轮廓计算出所述待曝光区域的坐标数据。
7.根据权利要求6所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，将去噪后的点云数据进行拟合的步骤具体为：
采用最小二乘法将去噪后的点云数据进行拟合。
8.根据权利要求6所述的激光切割掩膜板的方法，其特征在于，在将去噪后的点云数据进行拟合之前，以及在对所述掩膜板的点云数据进行去噪之后，还包括步骤：
将去噪后的点云数据进行过滤。
9.一种掩膜板，其特征在于，采用权利要求1至8中任一项所述的激光切割掩膜板的方法进行加工得到。
10.一种激光切割设备，其特征在于，根据权利要求1至8中任一项所述的激光切割掩膜板的方法实现。
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