[发明专利]探针卡电路及其测试方法有效
| 申请号： | 201711132890.1 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN107765039B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 任栋梁;钱亮 | 申请（专利权）人： | 上海华虹宏力半导体制造有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R1/073;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201203 上海市浦东*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探针 电路 及其 测试 方法 | ||
1.一种探针卡电路，其特征在于，所述探针卡电路包括探针单元、滤波单元、开关单元、第一节点和第二节点；
所述滤波单元、第一节点、探针单元和第二节点顺次连接构成一回路，所述开关单元处于所述回路中；
所述探针单元与一晶圆电连接；
一晶圆测试机连接所述第一节点，所述第二节点接地；
所述开关单元控制所述探针卡电路的导通和断开，所述开关单元开启时，所述探针卡电路导通；所述开关单元闭合时，所述探针卡电路断开，以规避所述滤波单元的充放电效应对晶圆造成的影响。
2.如权利要求1所述的探针卡电路，其特征在于，所述滤波单元包括至少一个电容。
3.如权利要求2所述的探针卡电路，其特征在于，所述滤波单元包括第一电容和第二电容，所述第一电容与所述第二电容并联，所述第一电容的容值与所述第二电容的容值不相等。
4.如权利要求3所述的探针卡电路，其特征在于，所述第一电容和所述第二电容中的一个容值大于等于0.1μF，另一个容值小于等于0.01μF。
5.如权利要求1所述的探针卡电路，其特征在于，所述晶圆包括多个芯片，每个所述芯片上设置有测试焊点。
6.如权利要求5所述的探针卡电路，其特征在于，所述探针单元包括多个探针，所述探针的数量与所述晶圆上芯片的数量相匹配，每个所述探针与每个所述芯片的测试焊点接触。
7.一种探针卡，其特征在于，包括如权利要求1-6中任一项所述的探针卡电路，实现晶圆测试机和晶圆之间的信号连接。
8.一种晶圆的测试方法，其特征在于，采用如权利要求7所述的探针卡，对晶圆进行测试。
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