[发明专利]一种显示面板及其制造方法在审
申请号: | 201711132855.X | 申请日: | 2017-11-15 |
公开(公告)号: | CN107946415A | 公开(公告)日: | 2018-04-20 |
发明(设计)人: | 迟霄;楼均辉 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司 |
主分类号: | H01L33/00 | 分类号: | H01L33/00;H01L27/15 |
代理公司: | 北京晟睿智杰知识产权代理事务所(特殊普通合伙)11603 | 代理人: | 于淼 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 显示 面板 及其 制造 方法 | ||
1.一种显示面板的制造方法,包括:
提供一生长基板;
在所述生长基板上形成外延层;
在所述外延层上形成微型发光二极管的第一导电层、半导体层以及第二导电层;
在所述第二导电层上形成电接触层和支撑连接层,所述电接触层和支撑连接层分离设置;
在所述微型发光二极管以及所述外延层上形成牺牲层;
图案化所述牺牲层,暴露所述支撑连接层;
形成稳定化层,所述稳定化层与所述支撑连接层接触;
提供一转移基板,所述转移基板包括转移衬底和粘合剂层;
将所述粘合剂层贴附到所述稳定化层的表面;
移除所述生长基板、所述外延层以及所述牺牲层;
提供一吸附基板,所述吸附基板将所述微型发光二极管与所述稳定化层分离;
提供一驱动基板;
将所述微型发光二极管放置在所述驱动基板上。
2.如权利要求1所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第二导电层上形成电接触层,包括:
在所述第二导电层上形成第一欧姆接触层;
在所述第一欧姆接触层上形成第一电极;
在所述第一电极上形成第一电连层。
3.如权利要求2所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第二导电层上形成第一欧姆接触层的同时在所述第二导电层上形成第二欧姆接触层,所述第二欧姆接触层与所述第一欧姆接触层断开。
4.如权利要求3所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第一欧姆接触层上形成第一电极的同时在所述第二欧姆接触层上形成第二电极。
5.如权利要求4所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第一电极上形成第一电连层的同时在所述第二电极上形成第二电连层。
6.如权利要求2所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第一欧姆接触层上形成第一电极同时形成在所述第二导电层上形成第二电极。
7.如权利要求6所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第一电极上形成第一电连层的同时在所述第二电极上形成第二电连层。
8.如权利要求2所述的显示面板的制造方法,其特征在于,在所述第一电极上形成第一电连层的同时形成在所述第二导电层上形成第二电连层。
9.如权利要求1所述的显示面板的制造方法,其特征在于,所述支撑连接层的顶部或侧壁与所述稳定化层接触。
10.如权利要求1所述的显示面板的制造方法,其特征在于,提供一驱动基板包括:
提供一第一衬底;
在所述第一衬底上形成多条栅极线和多条数据线,所述栅极线和所述数据线绝缘交叉形成子像素单元;
在所述第一衬底上形成多个第一晶体管和多个第二晶体管,所述第二晶体管的栅极电连接所述栅极线,所述第二晶体管的第二极电连接所述第一晶体管的栅极;
形成隔离层,图案化所述隔离层形成多个开口;
在所述开口内形成多个底部电极,所述底部电极与所述第一晶体管的第二极电连接。
11.如权利要求10所述的显示面板的制造方法,其特征在于,将所述微型发光二极管放置在所述驱动基板上包括:
将所述微型发光二极管放置在所述开口内,所述微型发光二极管的电接触层与所述底部电极电连接。
12.如权利要求11所述的显示面板的制造方法,其特征在于,将所述微型发光二极管放置在所述开口内,所述微型发光二极管的电接触层与所述底部电极电连接后还包括:
在所述开口内形成填充层,所述填充层暴露所述微型发光二极管的第一导电层;
在所述第一导电层上形成顶部电极。
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