[发明专利]一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置

说明书

本发明实施例提供一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置，涉及蒸镀技术领域，能够解决在掩模版上支撑条位置处与待蒸镀基板之间存在较大的间隙，间隙位置处在蒸镀膜层时易于侵入沉积蒸镀材料，从而使得掩模蒸镀的膜层图案与掩模图案差异较大的问题。包括：掩模版本体，掩模版本体包括掩模版框架以及掩模版框架环绕的掩模部分，掩模部分包括多个掩模图案区域以及相邻掩模图案区域之间的无效区域。支撑条，支撑条的两端固定在掩模版框架上，且支撑条跨设于掩模部分并投影于无效区域内，用于支撑掩模版本体。升降组件，设置在掩模版框架上对应支撑条的端部位置，升降组件能够带动支撑条的端部沿垂直于掩模版框架所在平面朝向远离掩模版框架的方向移动。

技术领域

本发明涉及蒸镀技术领域，尤其涉及一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置。

背景技术

OLED(Organic Light Emitting Diode，有机发光二极管)显示面板具有自发光、反应快、亮度高、轻薄等诸多优点，已经逐渐成为显示领域的主流。

OLED显示面板包括阵列排布的多个子像素单元，每一个子像素单元包括阳极、发光层和阴极，其中，发光层采用有机电致发光材料形成，目前主要采用掩模版并通过蒸镀工艺制作在各子像素单元中。掩模版上具有构图图案，随着屏幕PPI(Pixels Per Inch，每英寸内拥有的像素数目)的增多，掩模版上的构图图案区域也需要进一步精细化。

对于制作大尺寸OLED显示面板，由于掩模版尺寸较大，通常采用张网的方式提高掩模版的平整度，并且需要在掩模版上位于掩模图案以外的区域设置沿张网拉伸方向延伸的支撑条，以对掩模版提供支撑。

但是，一方面，在张网拉伸的作用力下，支撑条靠近中心的部分容易发生上翘变形；另一方面，支撑条通常是通过两端焊接的方式固定在掩模版上，由于焊接点通常会凸出于掩模版的表面，在将掩模版与待蒸镀基板之间贴合时，支撑条焊接固定的位置处的掩模版与待蒸镀基板之间会存在较大的间隙难以紧密贴合，这就导致在掩模蒸镀过程中，间隙位置处也侵入沉积有膜层，导致待蒸镀基板上形成的掩模蒸镀图案变形，从而导致掩模蒸镀的精度下降，甚至由于掩模蒸镀图案出错而导致待显示面板发生显示异常，致使制作完成的显示面板报废。

发明内容

本发明实施例提供一种掩模版、掩模蒸镀组件及蒸镀装置，能够解决在掩模版上支撑条位置处与待蒸镀基板之间存在较大的间隙，间隙位置处在蒸镀膜层时易于侵入沉积蒸镀材料，从而使得掩模蒸镀的膜层图案与掩模图案差异较大的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的一方面，提供一种掩模版，包括：掩模版本体，掩模版本体包括掩模版框架以及掩模版框架环绕的掩模部分，掩模部分包括多个掩模图案区域以及相邻掩模图案区域之间的无效区域。支撑条，支撑条的两端固定在掩模版框架上，且支撑条跨设于掩模部分并投影于无效区域内，用于支撑掩模版本体。升降组件，设置在掩模版框架上对应支撑条的端部位置，升降组件能够带动支撑条的端部沿垂直于掩模版框架所在平面朝向远离掩模版框架的方向移动。

进一步的，升降组件至少包括一个升降平面，支撑条的端部投影于升降平面的边界范围内，升降平面带动支撑条的端部移动。

优选的，升降平面上设置有镂空区域，镂空区域对应支撑条和掩模版框架之间的固定位置。

进一步的，升降组件还包括在升降平面背离支撑条的一侧设置的弹性元件，弹性元件能够拉动升降平面朝向掩模版框架的方向移动。

优选的，在掩模版框架设置支撑条的一侧表面设置有凹槽，升降组件设置于凹槽内。

优选的，升降平面至少在靠近支撑条的一侧边缘设置有连接板，连接板的一侧与升降平面的侧边铰接、相对的另一侧与掩模版本体铰接。