[发明专利]太阳能电池固化工具

权利要求书

1.一种太阳能电池固化工具，包括：

辐射固化级，其包括发射电磁辐射的辐射源；

一个或多个沉积级或退火级；以及

传输机系统，其包括可操作地耦接至晶片平台的制动器，其中，所述晶片平台具有面向所述辐射源的保持表面以接收发射的电磁辐射，并且其中，所述传输机系统移动所述晶片平台通过所述辐射固化级和所述一个或多个沉积级或所述退火级。

2.根据权利要求1所述的太阳能电池固化工具，其中，所述辐射源包括一个或多个发光二极管或弧光灯，并且其中，所述电磁辐射包括紫外线辐射。

3.根据权利要求2所述的太阳能电池固化工具，其中，所述辐射源包括发光二极管。

4.根据权利要求2所述的太阳能电池固化工具，其中，所述辐射源包括弧光灯。

5.根据权利要求2所述的太阳能电池固化工具，其中，所述晶片平台包括松散捆扎带。

6.根据权利要求1所述的太阳能电池固化工具，其中，所述晶片平台包括热交换器，以将来自所接收的电磁辐射的热量传递到周围环境。

7.根据权利要求6所述的太阳能电池固化工具，其中，所述热交换器包括散热器。

8.根据权利要求1所述的太阳能电池固化工具，还包括第二传输机系统，所述第二传输机系统包括第二晶片平台，其中所述第二晶片平台具有面向所述辐射源的第二保持表面，以接收发射的电磁辐射，并且其中，所述辐射源位于所述保持表面和所述第二保持表面之间。

9.根据权利要求1所述的太阳能电池固化工具，其中，当所述晶片平台在所述辐射固化级内时，控制所述传送机系统的移动速率，以在由所述晶片平台支撑的晶片中积累预定量的电磁辐射。

10.根据权利要求1所述的太阳能电池固化工具，还包括光致发光检测器，其中，所述光致发光检测器被构造为检测安装在所述晶片平台上的晶片的表面是否被去钝化。

11.一种制造太阳能电池的方法，所述方法包括步骤：

输送晶片通过固化工具的辐射固化级，所述辐射固化级包括发射电磁辐射的辐射源；

输送所述晶片通过所述固化工具的一个或多个沉积级或退火级，其中输送所述晶片包括利用传输机系统，所述传输机系统包括可操作地耦接至晶片平台的制动器，其中，所述晶片平台具有面向所述辐射源的保持表面以接收发射的电磁辐射，并且其中，所述传输机系统移动所述晶片平台通过所述辐射固化级和所述一个或多个沉积级或所述退火级。

12.根据权利要求11所述的方法，其中，所述辐射源包括一个或多个发光二极管或弧光灯，并且其中，所述电磁辐射包括紫外线辐射。

13.根据权利要求12所述的方法，其中，所述辐射源包括发光二极管。

14.根据权利要求12所述的方法，其中，所述辐射源包括弧光灯。

15.根据权利要求12所述的方法，其中，所述晶片平台包括松散捆扎带。

16.根据权利要求11所述的方法，其中，所述晶片平台包括热交换器，以将来自所接收的电磁辐射的热量传递到周围环境。

17.根据权利要求16所述的方法，其中，所述热交换器包括散热器。

18.根据权利要求11所述的方法，还包括利用第二传输机系统输送第二晶片，所述第二传输机系统包括第二晶片平台，其中所述第二晶片平台具有面向所述辐射源的第二保持表面，以接收发射的电磁辐射，并且其中，所述辐射源位于所述保持表面和所述第二保持表面之间。