[发明专利]基于规则的OPC方法

权利要求书

1.一种基于规则的OPC方法，包括：

步骤一、输入初始图形T0；

步骤二、选择不作移动的图形边；其特征在于，还包括如下步骤：

步骤三、选择规则二图形边，该图形边记为B2；

步骤四、选择规则一图形边，该图形边记为B1；

步骤五、设定图形边移动规则一；

步骤六、根据图形边移动规则一移动图形边B1，得到的图形记为T1；

步骤七、选择图形T1中与图形边B2的共边，该共边记为B21；

步骤八、设定图形边移动规则二；

步骤九、根据图形边移动规则二移动图形边B21；

步骤十、输出图形；

步骤二所述“不作移动的图形边”，是指初始图形中不适用于既定规则的图形边；

步骤三所述“规则二图形边”，是指测量线宽或间距时使用偏置量会产生多余凹凸的图形边；

步骤四所述“规则一图形边”，是指初始图形的所有图形边去除不作移动的图形边和规则二图形边后的图形边；

步骤五所述“图形边移动规则一”，是指测量线宽和间距时使用偏置量；

步骤八所述“图形边移动规则二”，是指测量线宽时不使用偏置量，或测量间距时不使用偏置量；

步骤九所述“根据图形边移动规则二移动图形边B21”，是指以图形T1作为OPC待修正图形，初始图形T0作为测量图形间距的参考图形。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：该基于规则的OPC方法通过Calibre SVRF工具实现。