[发明专利]一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法有效
申请号: | 201711087985.6 | 申请日: | 2017-11-08 |
公开(公告)号: | CN107884323B | 公开(公告)日: | 2021-03-23 |
发明(设计)人: | 杨明;宋丽;古俊宇;梁民焜 | 申请(专利权)人: | 深圳市兴业卓辉实业有限公司 |
主分类号: | G01N15/06 | 分类号: | G01N15/06 |
代理公司: | 深圳市远航专利商标事务所(普通合伙) 44276 | 代理人: | 田志远;张朝阳 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区福永*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 洁净室 用无尘布 擦拭 发尘量 检测 方法 | ||
本发明公开了无尘布检测领域中的一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法,包括准备仪器及试剂、干式擦拭测试、湿式擦拭测试以及计算等步骤。本发明解决了目前洁净室擦拭布行业标准中对无尘布实际使用擦拭过程中由于摩擦产生的颗粒物、毛屑、毛羽等微粒检测方法的缺失,给洁净室无尘布,尤其是高洁净度无尘布在干态或湿态使用环境和过程中提供了一种客观,可靠的洁净度数据支持和评价。
技术领域
本发明涉及无尘布检测领域,具体的说,是涉及一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法。
背景技术
洁净室用擦拭布除开自身洁净性能对产品有着较大影响之外,洁净擦拭后的效果也对产品也有着重要的影响,即使擦拭布产品自身洁净性能很高,可以满足环境的需要,但是在使用过程中,如果因为擦拭而产生的颗粒脱落,起毛,脱毛等现象,就有可能严重污染到产品,如硬盘上的微小颗粒可能使磁盘中的磁头报废,液晶显示屏上的毛屑颗粒会使屏幕上出现白点或黑点,但是通常的检测方法仅仅是以测试自身洁净度为主,如美国国家环境协会的IEST-RP-CC004.3和我国纺织行业标准FZ/T 64056-2015,而对擦拭过程中可能带来的潜在风险并没有进行实际管控,尤其是擦拭过程中由于摩擦产生的颗粒物、毛屑、毛羽等微粒带来的风险的管控。
因此,需要一种能针对无尘布实际使用擦拭过程中由于摩擦产生的颗粒物、毛屑、毛羽等微粒检测方法。
发明内容
为了克服现有的技术的不足,本发明提供一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法。
本发明技术方案如下所述:
一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法,其特征在于,包括以下步骤:
步骤1、准备测试仪器及试剂,包括层流洁净室或工作环境、工业用异丙醇、光学显微镜、平板玻璃、不锈钢长方体、无尘布、洁净室用手套、洁净剪刀、洁净镊子、洁净烧杯、洁净量筒以及专用清洁擦拭溶液,其中所述平板玻璃上带有网格线,所述网格线的中央为测试空格,所述不锈钢长方体的背面带有用于固定无尘布的不锈钢夹和可带动不锈钢长方体左右移动的支架;
步骤2、干式擦拭,分别在空白状态和用无尘布样品擦拭后,用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录;
步骤3、湿式擦拭,分别在空白状态和用湿润后的无尘布样品擦拭后,用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录;
步骤4、无尘布样品擦拭发尘量按照如下公式计算:
X=[(A21-A11)+…+(A25-A15)]/5S
式中:
X为无尘布样品干式擦拭/湿式擦拭发尘量,单位为个每平方厘米,
A11、A12、A13、A14、A15为测试空格空白测试微粒总数,单位为个,
A21、A22、A23、A24、A25为测试空格擦拭后测试微粒总数,单位为个,
S为测试空格的总面积,单位为平方厘米,
所得结果修约至整数。
根据上述方案的本发明,其特征在于,在步骤1中,所述层流洁净室或工作环境符合ISO14644-1:1999中规定的5级或洁净度更高的要求。
根据上述方案的本发明,其特征在于,在步骤1中,所述工业用异丙醇符合GB/T7814-2008要求。
根据上述方案的本发明,其特征在于,在步骤1中,所述专用清洁擦拭溶液为去离子水、异丙醇、无水乙醇、丙酮。
根据上述方案的本发明,其特征在于,在步骤1中,得到光学显微镜的测微尺测量的最小刻度为100μm,放大倍数为≥40倍。
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