[发明专利]一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法

权利要求书

1.一种洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1、准备测试仪器及试剂，包括层流洁净室或工作环境、工业用异丙醇、光学显微镜、平板玻璃、不锈钢长方体、无尘布、洁净室用手套、洁净剪刀、洁净镊子、洁净烧杯、洁净量筒以及专用清洁擦拭溶液，其中所述平板玻璃上带有网格线，所述网格线的中央为测试空格，所述不锈钢长方体的背面带有用于固定无尘布的不锈钢夹和可带动不锈钢长方体左右移动的支架；

步骤2、干式擦拭，分别在空白状态和用无尘布样品擦拭后，用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录，具体包括：

步骤21、将平板玻璃正面用无尘布和异丙醇擦拭干净，然后用所述光学显微镜在所述网格线的所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒，计数空白测试微粒总数A11’；

步骤22、选取无尘布样品，用光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒，计数擦拭后测试微粒总数A21’：

1)选取无尘布样品，用所述洁净镊子自然平铺在所述平板玻璃最中间位置，边部同所述平板玻璃平行，后将所述不锈钢长方体轻压到所述无尘布样品的最中间，所述不锈钢长方体的边也与所述平板玻璃的边相互平行，然后将无尘布样品的四周翻转到不锈钢长方体上，并用不锈钢长方体四周的固定夹对无尘布样品进行固定；

2)将包裹所述无尘布样品的所述不锈钢长方体移动到最中间位置，使所述不锈钢长方体的四边，同所述平板玻璃上最中间网格线的四边对齐，所述支架开始以20cm/s的速度，在网格线上左右移动擦拭，再上下移动擦拭，将所述不锈钢长方体拿起从空中移走，并废弃无尘布样品；

3)用光学显微镜在测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并计数；

步骤23、按照如上步骤，再进行4次测试，分别得到A12’、A13’、A14’、A15’和A22’、A23’、A24’、A25’；

步骤3、湿式擦拭，分别在空白状态和用湿润后的无尘布样品擦拭后，用所述光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒并记录，具体包括：

步骤31、将所述平板玻璃正面用无尘布和异丙醇擦拭干净，然后再用所述光学显微镜在最中间的测试空格进行查看测试≥100μm的微粒，计数空白测试微粒总数A11”；

步骤32、选取无尘布样品并进行湿润，用光学显微镜在所述测试空格进行查看测试≥100μm的微粒，计数擦拭后测试微粒总数A21”；

步骤33、按照如上步骤，再进行4次测试，分别得到A12”、A13”、A14”、A15”和A22”、A23”、A24”、A25”；

步骤4、无尘布样品擦拭发尘量按照如下公式计算：

X＝[(A21-A11)+…+(A25-A15)]/5S

式中：

X为无尘布样品干式擦拭/湿式擦拭发尘量，单位为个每平方厘米，

A11、A12、A13、A14、A15为测试空格空白测试微粒总数，单位为个，A11、A12、A13、A14、A15分别是指干式擦拭过程中的A11’、A12’、A13’、A14’、A15’和湿式擦拭过程中的A11”、A12”、A13”、A14”、A15”，

A21、A22、A23、A24、A25为测试空格擦拭后测试微粒总数，单位为个，A21、A22、A23、A24、A25分别是指干式擦拭过程中的A21’、A22’、A23’、A24’、A25’和湿式擦拭过程中的A21”、A22”、A23”、A24”、A25”，

S为测试空格的总面积，单位为平方厘米，

所得结果修约至整数。

2.根据权利要求1所述的洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，其特征在于，在步骤1中，所述层流洁净室或工作环境符合ISO 14644-1：1999中规定的5级或洁净度更高的要求。

3.根据权利要求1所述的洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，其特征在于，在步骤1中，所述工业用异丙醇符合GB/T 7814-2008要求。

4.根据权利要求1所述的洁净室用无尘布擦拭发尘量的检测方法，其特征在于，在步骤1中，得到光学显微镜的测微尺测量的最小刻度为100μm，放大倍数为≥40倍。