[发明专利]一种精密仪器雾化器积垢清洁剂

权利要求书

1.一种精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，去离子水、王水、金属螯合剂、表面活性剂、除硅剂、除硅增蚀剂和腐蚀保护剂。

2.根据权利要求1所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述金属螯合剂为EDTA二钠、柠檬酸、酒石酸、草酸和葡萄糖酸钠。

3.根据权利要求1所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述表面活性剂为十六烷磺酸钠、十八烷基二羟乙基甜菜碱和十六烷三甲基溴化铵。

4.根据权利要求1所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述除硅剂为氟硼酸类。

5.根据权利要求4所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述除硅剂为四氟硼酸。

6.根据权利要求1所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述除硅增蚀剂为三聚磷酸钠。

7.根据权利要求1所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，腐蚀保护剂为硼酸钠。

8.根据权利要求1至7任一项所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述去离子水、王水、金属螯合剂、表面活性剂、除硅剂、除硅增蚀剂和腐蚀保护剂的质量比为：1000～2000:100～400:30～50:10～20:10～20:3～5:10～20。

9.根据权利要求8所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述金属螯合剂中EDTA二钠、柠檬酸、酒石酸、草酸和葡萄糖酸钠的质量比为：10:5:5:5：10。

10.根据权利要求9所述的精密仪器雾化器积垢清洁剂，其特征在于，所述表面活性剂中十六烷磺酸钠、十八烷基二羟乙基甜菜碱和十六烷三甲基溴化铵的质量比为：10:5:5。