[发明专利]载盘搬送方法及装置

说明书

本发明有关于载盘搬送装置，包括：由轨架所构成供载盘输送的轨道，该轨架作为载盘输送排出的端设有一推移装置，该推移装置位于轨架中设有一推杆及一移动座，该推杆与该移动座间设有一弹性元件，透过压缩该弹性元件使得该推杆可被操作下倾使载盘通过；当载盘通过后透过该弹性元件的回复力使得推杆重新仰起而推抵载盘，以进入一装卸机构的收纳盒；藉以有效将载盘推移入收纳盒进行收纳。

本发明专利申请是申请号为201410344873.4、申请日为2014年7月18日的题为“涂布方法及装置”的发明专利申请的分案申请。

技术领域

本发明系有关于一种载盘搬送方法及装置，尤指一种用于搬送其上置设待加工元件进行加工的载盘搬送方法及装置。

背景技术

一般晶圆经切割成一片片芯片时，每一片芯片必须经由置设于一基板(SubstrateBoard)中进行封装，才能使该芯片被使用；而现行将芯片置设于基板上的作业通常透过一载盘(Boat)来完成，使载盘提供多数个整齐排列的置放区间，以供各基板置于载盘各置放区间，然后再将基板上预定位置涂覆黏性材料，以供芯片置于基板上时可藉该黏性材料固定于基板预设的定位以进行下一制程。

一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，采用在两龙门下方设轨道，并使轨道上置设该载有基板的载盘，及于两龙门间的上方共同架设一横设的轨座，并在轨座上设内部容装黏性材料的胶阀，藉由横设的轨座可在两龙门上作Y轴向位移，而胶阀可在轨座上作X轴向及Z轴向位移，来对下方轨道中载盘上基板进行涂布黏性材料的作业。

另一种先前技术在基板上预定位置涂覆黏性材料的方法及装置，为提高效率而采用在两龙门下方设两平行的第一、二导轨，以分别输送二载盘，并在第一龙门上设第一导引轨道及第二导引轨道，以分别设置检测单元及第一出料头，及在第二龙门上设第三导引轨道以设置第二出料头，使第一导轨上的载盘输经第一龙门上第一导引轨道下方时受检测单元检测，再续输送经第一龙门上第二导引轨道下方受第一出料头涂布，然后再返回原第一龙门上第一导引轨道下方再受检测单元检测，以完成涂布作业；而第二导轨则与第一导鬼进行的程序及作业相同，但较第一导轨上的作业程序晚一步骤。

发明内容

先前技术采在两龙门下方设两平行的第一、二导轨以分别输送二载盘者，其虽具有较高的涂布效率，但因载盘是以人工置放入轨道中受在移动中被进行涂覆，因此对加工的效率低亦不适大量生产，完成涂布的该载有基板的载盘必须进行一返回程序，而返回至第一导引轨道下方接受检测单元的检测，造成行程的浪费与下一载盘进入的延迟，对产出效率形成延怠！且先前技术对完成涂布的载盘采用人工方式收集，其搬送的效率亦不适大量生产。

于是，本发明的目的，在于提供一种可有效将载盘推移入收纳盒进行收纳的载盘搬送装置。

本发明的另一目的，在于提供一种使用该载盘搬送装置有效将载盘推移入收纳盒进行收纳的载盘搬送方法。

本发明的又一目的，在于提供一种载盘搬送装置，包括：用以执行如所述载盘搬送方法的装置。

依据本发明的目的的载盘搬送装置，包括：一种载盘搬送装置，由轨架所构成供载盘输送的轨道，该轨架作为载盘输送排出的端设有一推移装置，该推移装置位于轨架中设有一推杆及一移动座，该推杆与该移动座间设有一弹性元件，透过压缩该弹性元件使得该推杆可被操作下倾使载盘通过；当载盘通过后透过该弹性元件的回复力使得推杆重新仰起而推抵载盘，以进入一装卸机构的收纳盒。

依据本发明另一目的的载盘搬送方法，使用如所述载盘搬送装置，当该载盘欲自该轨架输出至该装卸机构的该收纳盒时，使该载盘通过该轨架后，未完全被推入该收纳盒而有部份凸伸于外部，并藉由该推移装置将该载盘推抵入该收纳盒。

依据本发明又一目的的载盘搬送装置，包括：用以执行如所述载盘搬送方法的装置。