[发明专利]一种柔性立体封装气体传感器

说明书

本发明提供了一种柔性立体封装气体传感器，包括多层气体传感层、固定部以及间隔凸起，其中气体传感层的基底为柔性衬底，气体传感层包括柔性衬底层、形成于柔性衬底层上的柔性透明导电层、形成于柔性透明导电层上的柔性中间层，柔性中间层中形成阵列传感位点且具有分别连接至传感位点的引线，解决了目前气体传感器不适用弯折情形的问题，使气体传感器能够实现柔性，同时采用立体阵列式探测结构，在立体空间内集成多个传感位点，通过材料的选择可以实现互相验证及多种气体探测。

技术领域

本发明属于气体传感器技术领域，尤其涉及一种柔性立体封装气体传感器。

背景技术

随着人们生活水平的不断提高和对环保的日益重视，利用气敏传感器对有毒有害气体作出快速准确检测和监控成为当前和未来发展趋势。到目前为止利用被测气体在气敏材料表面吸附时引起其阻值变化来达到检测目的电阻式气敏传感器应用最为广泛。但该种传感器是由大量晶粒构成的多晶薄膜或多晶烧结体，存在与气体接触面积小的缺点，且传感器本身体积较大、热绝缘、热分布、封装等均存在严重问题。

传感器包括门类众多技术，而传感器系统一般包含两个方面，第一方面是传感器的芯片，它主要包含传感层。另一方面，就是信号测定系统，即通过测定电阻、电流、电压和折射率等某一个物理量来给出传感器芯片的传感层与目标物质间相互作用的大小后，提供判读的依据。随着人们生活水平的提高与科学的发展，传感器与我们的生活联系越来越紧密。随着检体数量的增加，利用传感器时芯片的成本就成为一个需要考量的十分重要的因素。传统的气体传感器芯片生产过程中，往往需要手工的加入，这就导致传感器的生产效率与成本很难满足需求。例如，对食物与药品等产品的质量控制，需要对每一个包装进行监控。这类传感器需要体积小、制备过程简单、可大规模集中制备和成本低廉，而且这类传感器最好是制备在柔性衬底上。

但是，目前的气体传感器应用的领域还比较窄，例如智能手机发展非常迅速，各大厂商没有发布任何一款具有气体传感功能的手机，手机下一把发展的方向就是将会是柔性，另外，柔性智能可穿戴设备的研究也十分火热，可穿戴设备通常是用于户外，虽然现在对人体数据的探测已经比较成熟，却很少关注可以用于穿戴设备的柔性气体传感器，随着微纳加工技术的发展，将气体传感器小型化并实现在手机或其它小型设备中的进行集成已经有了一定的成果，因此对于柔性的需求已经提上日程，如果能够实现柔性的气体传感，那对于可穿戴智能设备而言又能够提供一个不可忽略的功能。

气体传感器对于传感可靠性的要求很高，并且希望能够同时探测多种气体，目前的研究情况下还没有出现较完善的解决方案，因此需要进行进一步研究。

发明内容

为了解决目前气体传感器不适用弯折情形的问题，使气体传感器能够实现柔性，同时采用立体阵列式探测结构，在立体空间内集成多个传感位点，通过材料的选择可以实现互相验证及多种气体探测，本发明提供了一种柔性立体封装气体传感器，包括多层气体传感层、固定部以及间隔凸起，其中：气体传感层的基底为柔性衬底，所述气体传感层包括柔性衬底层、形成于柔性衬底层上的柔性透明导电层、形成于柔性透明导电层上的柔性中间层，所述柔性中间层中形成阵列传感位点且具有分别连接至传感位点的引线；

所述固定部穿过每个气体传感层，多个气体传感层与固定部接触的部分形成固定区；

所述间隔凸起设置在多层气体传感层之间，用于保持每层所述气体传感层之间的间距相同。

进一步地，所述固定部设置位置在所述气体传感层的中心位置。

进一步地，所述固定部由金属材料制成，所述气体传感层中的所述柔性透明导电层连接至固定部，所述固定部作为各个传感位点的公共电极。

进一步地，所述间隔凸起设置在所述气体传感层四周，所述间隔凸起与所述柔性衬底层一体设置。

进一步地，所述间隔凸起在高度上的尺寸大于所述柔性衬底层、所述柔性透明导电层和所述柔性中间层厚度的总和。