[发明专利]一种柔性立体封装气体传感器

权利要求书

1.一种柔性立体封装气体传感器，包括多层气体传感层、固定部以及间隔凸起，其特征在于，其中：

气体传感层的基底为柔性衬底，所述气体传感层包括柔性衬底层、形成于柔性衬底层上的柔性透明导电层、形成于柔性透明导电层上的柔性中间层，所述柔性中间层中形成阵列传感位点且具有分别连接至传感位点的引线；

所述固定部穿过每个气体传感层，多个气体传感层与固定部接触的部分形成固定区；

所述间隔凸起设置在多层气体传感层之间，用于保持每层所述气体传感层之间的间距相同；

所述固定部由金属材料制成，所述气体传感层中的所述柔性透明导电层连接至固定部，所述固定部作为各个传感位点的公共电极。

2.根据权利要求1所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，所述固定部设置位置在所述气体传感层的中心位置。

3.根据权利要求2所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，所述间隔凸起设置在所述气体传感层四周，所述间隔凸起与所述柔性衬底层一体设置。

4.根据权利要求3所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，所述间隔凸起在高度上的尺寸大于所述柔性衬底层、所述柔性透明导电层和所述柔性中间层厚度的总和。

5.根据权利要求1所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，所述引线的一端连接至所述传感位点，另一端连接至所述柔性中间层的侧面。

6.根据权利要求5所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，所述柔性中间层的平面形状为矩形，所述引线延伸至所述柔性中间层矩形相对的两个侧边。

7.根据权利要求6所述的柔性立体封装气体传感器，其特征在于，在所述引线延伸至的两个侧边形成柔性再分布层，将引线通过再分布层连接形成在底部的焊盘，同时固定部也形成公共电极焊盘。