[发明专利]涂敷方法

权利要求书

1.一种涂敷方法，用处理液对形成有图案的基板的主面进行处理后，在所述主面上涂敷填充材料溶液，其中，所述涂敷方法包括：

a)工序，向水平状态的所述基板的朝向上方的所述主面供给纯水，旋转所述基板，并对覆盖整个所述主面的纯水的液膜进行保持，其中，在基板的主面上形成有直立的多个图案要素；以及

b)工序，停止纯水的供给，以比在所述a)工序中保持所述液膜时的转速高的转速旋转所述基板，减少所述液膜的厚度，由此，形成覆盖所述主面的纯水的液膜，所述液膜的厚度在3微米以上且5微米以下、并且大于所述主面上的所述图案要素的高度，

c)工序，以每分钟300转以上且每分钟500转以下的转速旋转所述基板，并向所述主面的中央部供给包含水溶性的填充材料的填充材料溶液，所述基板的直径是300毫米，

d)第一甩掉工序，完成所述填充材料溶液的供给后，持续旋转基板，去除所述主面上的多余的所述填充材料溶液，

e)填充工序，通过在停止供给所述填充材料溶液的状态下，在所述主面上保持所述填充材料溶液的液膜，使所述填充材料溶入存在于所述图案要素间的间隙的纯水中，从而将所述填充材料填充至所述图案要素间的间隙，

f)第二甩掉工序，在所述e)填充工序完成后，在所述主面上保持所述填充材料溶液的液膜，并减少所述填充材料溶液的液膜的厚度，

所述填充材料溶液的粘度是3厘泊以下，

在所述c)工序中，以每秒2立方厘米以上的流量向所述主面供给所述填充材料溶液，

根据所述a)工序至f)第二甩掉工序，能够抑制针刺不良和外周膜厚不良并在所述主面涂敷所述填充材料溶液。

2.根据权利要求1所述的涂敷方法，其中，

所述填充材料溶液的粘度是2.6厘泊以上，

在所述c)工序，以每秒3立方厘米以下的流量向所述主面供给所述填充材料溶液。

3.根据权利要求1所述的涂敷方法，其中，

所述填充工序中的所述基板的转速低于所述第一甩掉工序及所述第二甩掉工序中的所述基板的转速。