[发明专利]图像处理方法、图像处理系统及缺陷检测装置

权利要求书

1.一种图像处理方法，用于对晶元进行光学扫描后形成的原始图像进行计算机处理，所述晶元包括底层晶元和器件晶元，所述底层晶元和所述器件晶元具有互相接触并重合的表面，其特征在于，所述图像处理方法包括：

图像边缘识别步骤，对所述原始图像进行边缘识别，得到所述原始图像中的边缘区域和中心区域；

图像分割步骤，去除所述原始图像中边缘区域的第一类干扰图像的信息，所述第一类干扰图像包括灰边缺陷和/或磨边缺陷；

图像增强步骤，对分布在所述原始图像所有区域中的目标缺陷进行图像增强，所述目标缺陷是气泡缺陷；

图像去噪步骤，去除所述原始图像中的第二类干扰图像的信息，所述第二类干扰图像的信息不同于所述第一类干扰图像的信息，所述第二类干扰图像包括所述晶元上的晶粒线条；

缺陷识别步骤，对分布在所述原始图像所有区域中的目标缺陷进行识别；以及，

数据存储步骤，存储所述目标缺陷的信息。

2.如权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述图像分割步骤利用了阈值分割算法。

3.如权利要求1所述的图像处理方法，其特征在于，所述图像去噪步骤利用了形态学去噪算法。

4.一种图像处理系统，用于对晶元进行光学扫描后形成的原始图像进行计算机处理，所述晶元包括底层晶元和器件晶元，所述底层晶元和所述器件晶元具有互相接触并重合的表面，其特征在于，所述图像处理系统包括：

图像边缘识别单元，用于对所述原始图像进行边缘识别，得到所述原始图像的边缘区域和中心区域；

图像分割单元，用于去除所述原始图像中边缘区域的第一类干扰图像的信息，所述第一类干扰图像包括灰边缺陷和/或磨边缺陷；

图像增强单元，用于对分布在所述原始图像所有区域中的目标缺陷进行图像增强，所述目标缺陷是气泡缺陷；

图像去噪单元，用于去除所述原始图像中的第二类干扰图像的信息，所述第二类干扰图像的信息不同于所述第一类干扰图像的信息，所述第二类干扰图像包括所述晶元上的晶粒线条；

缺陷识别单元，用于对分布在所述原始图像所有区域中的目标缺陷进行识别；以及

数据存储单元，用于存储所述目标缺陷的信息。

5.一种缺陷检测装置，其特征在于，包括如权利要求4所述的图像处理系统。

6.如权利要求5所述的缺陷检测装置，其特征在于，所述缺陷检测装置还包括：

缺陷扫描模块，用于对晶元进行光学扫描以便形成所述原始图像；以及

数据处理及输出模块，用于调用所述数据存储单元中的目标缺陷信息，并进行数据处理及输出。