[发明专利]二维纳米柔性运动平台

说明书

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件均与所述基座连接；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件均与所述基座连接；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与所述Y向导向件及所述终端平台连接；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与所述X向导向件及所述终端平台连接；X向T型杆和Y向T型杆,X向T型杆与所述Y向柔性解耦件连接，Y向T型杆与所述X向柔性解耦件连接；X向驱动器和Y向驱动器，X向驱动器与所述X向T型杆连接，Y向驱动器与所述Y向T型杆连接。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有大行程(毫米级)，刚度非线性度小，解耦误差小，高精度(纳米级)的优点。

技术领域

本发明涉及一种二维纳米柔性运动平台。

背景技术

大行程(毫米以上)二维柔性纳米运动平台一般利用柔性板簧变形提供运动，并采用电磁执行机构，如音圈电机进行驱动，在桌面级尺寸下可实现毫米甚至厘米行程。随着行程的增加，寄生运动也随之增加，从而限制平台的运动精度。为了减少运动平台寄生运动，本专利提出柔性板簧竖直于运动平面的设计方法，通过将柔性构件沿竖直于运动平面方向设置，可有效降低平台系统刚度的非线性，从而有效抑制解耦误差，进而提高平台的运动精度。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决相关技术中的技术问题之一。为此，本发明的一个目的在于提出一种具有大行程、高精度等优点的二维纳米柔性运动平台。

根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的内侧；X向柔性导向件和Y向柔性导向件，所述X向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连，所述Y向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连；X向柔性解耦件和Y向柔性解耦件，所述X向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与所述Y向柔性导向件相连，所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连，所述Y向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与所述X向柔性导向件相连，所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向T型杆和Y向T型杆,X向T型杆与所述X向柔性导向件连接，Y向T型杆与所述Y向柔性导向件连接；X向驱动器和Y向驱动器，X向驱动器与所述X向T型杆连接，Y向驱动器与所述Y向T型杆连接。

根据本发明上述实施例的二维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，所述X向柔性导向件为两个且两个所述X向柔性导向件相对X向对称，所述Y向柔性导向件为两个且两个所述Y向柔性导向件相对Y向对称；所述X向柔性解耦件为两个且两个所述X向柔性解耦件相对Y向对称，所述Y向柔性解耦件为两个且两个所述Y向柔性解耦件相对X向对称。由此可以提高所述基于柔性板簧的大行程纳米精度二维运动平台的运动精度。

附图说明

图1是根据本发明的一个实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图；

图2是根据本发明的另一个实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图；

附图标记：

附图标记：二维纳米柔性运动平台1、基座100、基板110、凸台120、终端平台200、X向柔性导向件310、X导向外平行板簧311、X导向内平行板簧312、Y向柔性导向件320、Y导向外平行板簧321、Y导向内平行板簧322、X向柔性解耦件410、X解耦外平行板簧411、X解耦内平行板簧412、Y向柔性解耦件420、Y解耦外平行板簧421、Y解耦内平行板簧422、X向T型杆510、Y向T型杆520。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。