[发明专利]二维纳米柔性运动平台

权利要求书

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的边沿的内侧；

两个X向柔性导向件，每个所述X向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连；

两个Y向柔性导向件，每个所述Y向柔性导向件沿竖直于运动平面方向延伸且与所述基座相连；

两个X向柔性解耦件，所述X向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

两个Y向柔性解耦件，所述Y向柔性解耦件沿竖直于运动平面方向延伸且分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

X向T型杆和Y向T型杆，所述X向T型杆与所述两个X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向T型杆与所述两个Y向柔性导向件中的一个相连；

X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与所述X向T型杆相连，所述Y向驱动器与所述Y向T型杆相连。

2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，

所述X向柔性导向件为两个且两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，所述Y向柔性导向件为两个且两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置,所述X向柔性解耦件为两个且两个所述X向柔性解耦件在Y向上对称设置，所述Y向柔性解耦件为两个且两个所述Y向柔性解耦件在X向上对称设置。

3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性导向件的柔性板簧在竖直于运动平面方向上对称，每个所述Y向柔性导向件的柔性板簧在竖直于运动平面方向上对称，每个所述X向柔性解耦件的柔性板簧在竖直于运动平面方向上对称，每个所述Y向柔性解耦件的柔性板簧在竖直于运动平面方向上对称。

4.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向柔性导向件、所述Y向柔性导向件、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件在竖直于运动平面方向上高度相同。

5.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性导向件包括两个X导向外侧板簧和两个X导向内侧板簧，两个所述X导向外侧板簧通过X导向刚性板相连，X导向刚性板与所述基座相连，两个所述X导向内侧板簧分别与同一侧X导向外侧板簧相连，两个所述X导向内侧板簧位于两个所述X导向外侧板簧的靠近所述的终端平台一侧且与两个所述X导向外侧板簧平行设置；每个所述Y向柔性导向件包括两个Y导向外侧板簧和两个Y导向内侧板簧，两个所述Y导向外侧板簧通过Y导向刚性板相连，Y导向刚性板与所述基座相连，两个所述Y导向内侧板簧分别与同一侧Y导向外侧板簧相连，两个所述Y导向内侧板簧位于两个所述Y导向外侧板簧的靠近所述的终端平台一侧且与两个所述Y导向外侧板簧平行设置。

6.根据权利要求5所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性解耦件包括两个X解耦外平行板簧和两个X解耦内平行板簧，两个所述X解耦外平行板簧与所述终端平台相连，两个所述X解耦内平行板簧分别与同一侧的所述X解耦外平行板簧及所述Y导向内侧板簧相连，两个所述X解耦内平行板簧位于两个所述X导向外侧板簧的内侧且与两个所述X解耦外平行板簧平行设置；每个所述Y向柔性解耦件包括两个Y解耦外平行板簧和两个Y解耦内平行板簧，两个所述Y解耦外平行板簧与所述终端平台相连，两个所述Y解耦内平行板簧分别与同一侧的所述Y解耦外平行板簧及所述X导向内侧板簧相连，两个所述Y解耦内平行板簧位于两个所述Y解耦外平行板簧的内侧且与两个所述Y导向外侧板簧平行设置。

7.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述基座包括：

基板；

八个凸台，八个所述凸台在所述基板的上表面，相邻的两个所述凸台为一组，分成四组间隔设置，每个所述X向柔性导向件与一组凸台相连，每个所述Y向柔性导向件与一组凸台相连。