[发明专利]贴拆板机台及其加工方法

说明书

本发明提供一种贴拆板机台，适于对基板以及至少一载板进行加工。贴拆板机台包括移载机构及滚轮机构。移载机构适于沿第一移动路径移动。滚轮机构配置于移载机构的上方，并适于沿第二移动路径移动且沿旋转路径转动。第一移动路径垂直于第二移动路径。基板与载板固定于移载机构上或滚轮机构上或分别固定于移载机构上与滚轮机构上。当滚轮机构沿第二移动路径靠近移载机构时，移载机构沿第一移动路径移动，而滚轮机构沿旋转路径转动，以使基板转移至载板、或基板拆离至载板、或载板贴合至基板上。本发明还提供一种贴拆板机台的加工方法。

技术领域

本发明涉及一种贴拆板机台及其加工方法，尤其涉及一种具有多功能的贴拆板机台及其加工方法。

背景技术

现有的拆板机对基板加工的制程，是先用小金属刮片来使载板和基板的单一侧边的角落处分离。接着，用一真空平台吸附固定载板的全面，再用四排吸嘴将基板的四边从上方吸住并往上拉，再使用一金属刀沿着分离介面来将载板和基板沿着板边分开约10毫米至15毫米(mm)。此时，通过吸附住载板的分离处，再使用宽度大于基板的金属片插入基板与载板的分离介面之间。由于载板与基板都被固定，故将金属片向前推到底即可将载板与基板分离。然而，使用拆板机对基板加工的缺点有二，其一是小金属刮片并不适合用来做金属载板，其二是此拆板机只能够将基板从载板拆离，仅具有单一功能，无法满足使用者对于机台的多功能需求，故不符合经济效益。

发明内容

本发明提供一种贴拆板机台及其加工方法，通过单一机台即能够完成将基板转移至载板、将基板拆离至载板、或将载板贴合至基板的制程，具有多功能性。

根据本发明的实施例，一种贴拆板机台，适于对基板以及至少一载板进行加工。贴拆板机台包括移载机构及滚轮机构。移载机构适于沿第一移动路径移动。滚轮机构配置于所述移载机构的上方，并适于沿第二移动路径移动且沿旋转路径转动。第一移动路径垂直于第二移动路径。基板与载板固定于移载机构上或滚轮机构上或分别固定于移载机构上与滚轮机构上。当滚轮机构沿第二移动路径靠近移载机构时，移载机构沿第一移动路径移动，而滚轮机构沿旋转路径转动，以使基板转移至载板、或基板拆离至载板、或载板贴合至基板上。

在根据本发明的实施例的贴拆板机台中，上述的滚轮机构包括滚轮、第一固定件及第二固定件。第一固定件配置于滚轮上。也配置在滚轮上的第二固定件利用真空吸附载板的板边。第一固定件与第二固定件分别固定载板的相对两侧边。

在根据本发明的实施例的贴拆板机台中，上述的至少一载板包括第一载板以及第二载板。第一载板、基板以及第二载板依序配置于移载机构上。移载机构提供真空吸附以固定第一载板与基板。第二载板通过黏着层而固定于基板上。当滚轮机构沿第二移动路径靠近移载机构时，第一固定件固定第二载板的第一侧边，移载机构沿第一移动路径移动，而滚轮机构沿旋转路径旋转，以将基板从第一载板转移至第二载板上，第二固定件则将第二载板的第二侧边也固定在滚轮上。

在根据本发明的实施例的贴拆板机台中，上述的基板以及载板依序配置于移载机构上，令移载机构提供真空吸附以固定基板与载板。当滚轮机构沿第二移动路径靠近移载机构时，第一固定件固定载板的第一侧边，滚轮机构沿旋转路径转动，而移载机构沿第一移动路径移动且提供真空吸附以吸附基板，而使基板从载板拆离，而第二固定件将载板的第二侧边也固定在滚轮上。

在根据本发明的实施例的贴拆板机台中，上述的至少一载板包括第一载板及第二载板。第一固定件与第二固定件分别固定第二载板的相对两侧边在滚轮机构上。第二载板位于滚轮与黏着层之间。移载机构提供真空吸附以依序固定第一载板与基板。当滚轮机构沿第二移动路径靠近移载机构时，第一固定件与第二固定件先后松开第二载板的相对两侧边，移载机构沿第一移动路径移动，而滚轮机构沿旋转路径转动，以使第二载板通过黏着层而贴合于基板上。