[发明专利]用于半导体工艺腔的泵系统

权利要求书

1.一种用于半导体工艺腔的泵系统，其特征在于，所述泵系统包括：

两个或更多个泵，所述两个或更多个泵并联配置，并且每个所述泵包括进气端和排气端，所述泵用于对所述工艺腔进行抽气；

进气通路，其中所述两个或更多个泵中的每一个的所述进气端通过所述进气通路单独地与所述工艺腔耦合；

排气通路，其中所述两个或更多个泵中的每一个的所述排气端耦合到所述排气通路；以及

与所述两个或更多个泵中的每一个相对应的关断装置，将相对应的进气通路或排气通路关断，

其中当两个或更多个所述泵中的任意一个发生故障时，将相对应的进气通路或排气通路关断，并且其它泵对工艺腔抽气。

2.根据权利要求1所述的泵系统，其特征在于，所述泵系统还包括故障确定装置，所述故障确定装置确定所述两个或更多个泵中的每一个是否发生故障，并且在确定所述两个或更多个泵中的一个发生故障时发出报警信号。

3.根据权利要求2所述的泵系统，其特征在于，在正常工作时，所述两个或更多个泵中的一部分处于开启状态，并且当泵发生故障时，与发生故障的泵数量相同的泵自动启动。

4.根据权利要求3所述的泵系统，其特征在于，所述泵系统还包括控制装置，所述控制装置响应于所述报警信号而启动所述两个或更多个泵中的一个或多个。

5.根据权利要求1所述的泵系统，其特征在于，在正常工作时，所述两个或更多个泵均处于开启状态。

6.根据权利要求1所述的泵系统，其特征在于，所述关断装置为防反冲机构，所述防反冲机构包括与每个泵相对应的阀门，并且所述阀门在相对应的所述泵发生故障时关闭。

7.根据权利要求6所述的泵系统，其特征在于，在所述泵发生故障时，相对应的所述阀门两侧的压力差发生变化，所述阀门响应于其两侧的压力差变化而自动地打开或关闭。

8.根据权利要求2所述的泵系统，其特征在于，所述故障确定装置响应于所述两个或更多个泵中的一个泵的运转电流低于预定的阈值电流而确定所述泵发生故障。

9.根据权利要求2所述的泵系统，其特征在于，所述故障确定装置响应于所述两个或更多个泵中的一个泵的转速超过预定的阈值转速而确定所述泵发生故障。

10.根据权利要求2所述的泵系统，其特征在于，每个所述关断装置与所述故障确定装置通信耦合，并且每个所述关断装置响应于所述故障确定装置确定与所述关断装置相对应的所述泵发生故障而将相对应的进气通路或排气通路关断。