[发明专利]金属掩膜板焊接方法及金属掩膜板在审
申请号: | 201711051827.5 | 申请日: | 2017-10-30 |
公开(公告)号: | CN107604308A | 公开(公告)日: | 2018-01-19 |
发明(设计)人: | 覃冲 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;C23C14/24;B23K26/21;H01L51/56 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人: | 郝传鑫,熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 金属 掩膜板 焊接 方法 | ||
1.一种金属掩膜板的焊接方法,其特征在于,包括:
形成金属掩膜承接框架,所述金属掩膜承接框架包括相对的第一侧边和第二侧边,以及连接第一侧边和第二侧边的第一支撑边和第二支撑边;
在所述第一侧边和第二侧边的表面加工出多个销柱;
形成多个金属掩膜,每一个所述金属掩膜包括两个相对端和位于两个相对端之间的蒸镀区域,在每一个所述金属掩膜的两个相对端中的一端对应第一侧边的每一个销柱的位置制作第一销孔,在每一个所述金属掩膜的另一端对应第二侧边的每一个销柱的位置制作第二销孔,并且在所述第一销孔和第二销孔与蒸镀区域之间预设焊接区域;
将多个所述金属掩膜张紧后与所述金属掩膜承接框架贴合,并且将多个所述金属掩膜的第一销孔和第二销孔套于所述金属掩膜承接框架的第一侧边和第二侧边表面的销柱上;
将多个所述金属掩膜通过焊接区域焊接在所述第一侧边和所述第二侧边上。
2.如权利要求1所述的金属掩膜板的焊接方法,其特征在于,在所述第一侧边和第二侧边的表面加工出多个销柱的步骤中,所述销柱顶点的位置高于所述金属掩膜承接框架的第一侧边和第二侧边的表面。
3.如权利要求1所述的金属掩膜板的焊接方法,其特征在于,所述金属掩膜承接框架采用金属材料制成。
4.如权利要求1或2所述的金属掩膜板的焊接方法,其特征在于,所述销柱采用金属材料制成。
5.一种金属掩膜板,其特征在于,包括金属掩膜承接框架和焊接固定于所述金属掩膜承接框架上的多个金属掩膜,
所述金属掩膜承接框架包括相对的第一侧边和第二侧边,以及连接第一侧边和第二侧边的第一支撑边和第二支撑边,所述第一侧边和第二侧边表面上有多个销柱;
每一个所述金属掩膜均包括两个相对端和蒸镀区域,两个所述相对端中的一端对应所述第一侧边的每一个销柱的位置设置有第一销孔,两个所述相对端的另一端对应所述第二侧边的每一个销柱的位置设置有第二销孔;所述蒸镀区位于两个所述相对端之间;多个所述金属掩膜通过所述金属掩膜承接框架上的销柱穿过所述第一销孔和第二销孔定位于所述金属掩膜承接框架上。
6.如权利要求5所述的金属掩膜板,其特征在于,所述金属掩膜承接框架还包括夹持组件,所述夹持组件包括两个夹头,两个所述夹头包括第一夹片、第二夹片和连接部,所述第一夹片和第二夹片相对平行设置,所述连接部连接所述第一夹片和第二夹片。
7.如权利要求5所述的金属掩膜板,其特征在于,所述第一销孔和第二销孔套于所述销柱上后,其顶点位置高于所述金属掩膜板的表面。
8.如权利要求5所述的金属掩膜板,其特征在于,所述金属掩膜框架采用金属材料制成。
9.如权利要求8所述的金属掩膜板,其特征在于,所述金属掩膜框架一体成型。
10.如权利要求5所述的金属掩膜板,其特征在于,所述销柱采用金属材料制成。
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