[发明专利]一种非晶合金反光镜及其制备方法有效
申请号: | 201711048989.3 | 申请日: | 2017-10-31 |
公开(公告)号: | CN107829074B | 公开(公告)日: | 2020-09-08 |
发明(设计)人: | 覃广生;许积文;薛云飞;王本鹏;付华萌 | 申请(专利权)人: | 桂林电子科技大学 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/20;C22C45/10;G02B5/08 |
代理公司: | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人: | 滕杰锋 |
地址: | 541004 广西*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 合金 反光镜 及其 制备 方法 | ||
本发明公开了一种非晶合金反光镜及其制备方法,所述反光镜包括基板、涂覆在基板上的Zr‑Ti‑Cu‑Ni‑Al‑Ag‑Re非晶涂层以及基板与非晶涂层之间的过渡层。所述非晶合金反光镜的制备方法主要包括:(1)以Ti、Ni、Cr或Al为靶材,在基板上制备过渡层;(2)以所述涂层材料为靶材,在过渡层上溅射非晶合金反光涂层。本发明公开的反光涂层材料不仅具有高的反射率,而且硬度高、耐磨、耐腐蚀、抗氧化、抗硫化,用其制造反光镜,表面无需保护层,制造成本也低于纯银及银合金反光镜,适合于各种场合尤其适合在沙漠、高寒等恶劣环境下使用。
技术领域
本发明涉及反光涂层材料技术领域,具体涉及一种非晶合金反光镜及其制备方法。
背景技术
利用银的高反射率,可以通过真空镀膜或者化学还原反应制造银反光镜。虽然银反光镜具有较高的反射率,但银反射层存在价格贵,硬度低,抗氧化、硫化能力及耐腐蚀能力不强。通过在银反射层表面涂覆保护层来提高银层的物理、化学性能,是一种有效的改善方式,如中国专利CN102419459B采用的聚氨酯保护层以及中国专利CN101776778B采用的SiOx保护层。
发明内容
本发明提供一种非晶态反光涂层材料,用以取代传统的银及银合金,解决现有技术中存在的缺陷。本发明同时还提供了一种非晶合金反光镜及其制备方法。本发明提供的反光涂层材料不仅具有高的反射率,而且硬度高、耐磨、耐腐蚀、抗氧化、抗硫化,用其制造非晶态合金反光镜,表面无需保护层,制造成本也低于纯银及银合金反光镜,适合于各种场合尤其适合在沙漠、高寒等恶劣环境下使用。
本发明提供的非晶反光涂层材料,是一种Zr基非晶合金体系,其组成为Zr-Ti-Cu-Ni-Al-Ag-RE,按原子百分比计:48-58%的Zr,0-2%的Ti,27-34%的Cu,3-8%的Ni,6-12%的Al,0.05-2%的Ag,0.1-2%的RE;RE表示稀土元素,为Y、Er、Sc或其组合,实际中将按照公知的相应公式折算重量配比。将上述材料应用现有工艺涂覆在不锈钢、玻璃、陶瓷、亚克力(PMMA)、聚酰亚胺(PET)或聚碳酸酯(PC)基板上,即可制得非晶态合金反光镜。在基板和反光涂层之间设置一层以Ti、Ni、Cr或Al为靶材,采用磁控溅射或蒸发方式制备的过渡层,能取得更好的技术效果。
具体实施方式
非晶态合金反光镜的制造方法,包括如下步骤:
(1)制备Zr-Ti-Cu-Ni-Al-Ag-RE合金非晶靶材,其中各元素原子百分比:48-58%的Zr,0-2%的Ti,27-34%的Cu,3-8%的Ni,6-12%的Al,0.05-2%的Ag,0.1-2%的RE;稀土元素RE可以是Y、Er、Sc或其组合。
(2)采用超声方式清洗基板,并进行紫外臭氧表面处理;基板材料可以是不锈钢、玻璃、陶瓷、亚克力(PMMA)、聚酰亚胺(PET)或聚碳酸酯(PC)。
(3)以金属Ti、Ni、Cr或Al为靶材,采用磁控溅射或蒸发方式在基板上制备过渡层,过渡层厚度可以为10-28nm,基板温度可以为25-800℃。
(4)以步骤1制得的Zr-Ti-Cu-Ni-Al-Ag-RE非晶合金为靶材,采用磁控溅射或蒸发方式在过渡层上制备非晶层反光涂层,反光涂层的厚度可以为400nm到5000nm,基板温度可以为25-400℃。
下面给出的是具体的实施例。
实施例1:
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