[发明专利]一种非晶合金反光镜及其制备方法有效
| 申请号： | 201711048989.3 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107829074B | 公开（公告）日： | 2020-09-08 |
| 发明（设计）人： | 覃广生;许积文;薛云飞;王本鹏;付华萌 | 申请（专利权）人： | 桂林电子科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;C23C14/24;C23C14/16;C23C14/18;C23C14/20;C22C45/10;G02B5/08 |
| 代理公司： | 广州市一新专利商标事务所有限公司 44220 | 代理人： | 滕杰锋 |
| 地址： | 541004 广西*** | 国省代码： | 广西;45 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 反光镜 及其 制备 方法 | ||
1.一种非晶合金反光镜，其特征在于：所述非晶合金反光镜包括基板、涂覆在基板上的过渡层以及涂覆在过渡层上的非晶合金反光涂层；
所述非晶合金反光涂层的材料是Zr基非晶合金；
所述过渡层以Ni或Al为靶材，采用磁控溅射方式在基板上制得；
所述Zr基非晶合金为Zr-Ti-Cu-Ni-Al-Ag-RE，按原子百分比计：48-58％的Zr，0-2％的Ti，27-34％的Cu，3-6％的Ni，6-12％的Al，0.05-2％的Ag，0.1-2％的RE；RE表示稀土元素，为Y、Er、Sc或其组合；
其中所述非晶合金反光涂层的厚度为1000nm到5000nm；
其中所述过渡层厚度为10-13nm；
所述非晶合金反光镜的制备方法包括如下步骤：采用超声方式清洗基板，并进行紫外臭氧表面处理；基板材料是不锈钢、玻璃、陶瓷、PMMA亚克力、PET聚酰亚胺或PC聚碳酸酯；以Ni或Al为靶材，采用磁控溅射方式在基板上制备过渡层，基板温度为25-800℃；以所述的非晶合金反光涂层材料为靶材，采用磁控溅射方式在过渡层上制备非晶合金反光涂层，基板的温度控制在200-400℃之间。
2.一种非晶合金反光镜的制备方法，所述方法至少包括如下步骤：采用超声方式清洗基板，并进行紫外臭氧表面处理；基板材料是不锈钢、玻璃、陶瓷、PMMA亚克力、PET聚酰亚胺或PC聚碳酸酯；以Ni或Al为靶材，采用磁控溅射方式在基板上制备过渡层，基板温度为25-800℃；以权利要求1所述的非晶合金反光涂层材料为靶材，采用磁控溅射方式在过渡层上制备非晶合金反光涂层，基板的温度控制在200-400℃之间。
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