[发明专利]柔性OLED显示面板及其制备方法在审
申请号: | 201711038095.6 | 申请日: | 2017-10-30 |
公开(公告)号: | CN107623087A | 公开(公告)日: | 2018-01-23 |
发明(设计)人: | 秦芳 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | H01L51/52 | 分类号: | H01L51/52;H01L51/00;H01L27/32;G09F9/30 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 oled 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种柔性OLED显示面板及其制备方法。
背景技术
有机发光二极管(OLED)具有自发光性、应答速度快、广视角等特点,应用前景广阔。如今,可弯折显示器成为主流。
为实现显示器件的弯折、卷曲等特性,目前最主要的技术是将薄膜晶体管(Thin-film transistor,简称TFT)及显示器件制作于PI(polyimide,聚酰亚胺)基板上,以弥补玻璃基板脆性大、不易弯曲的性质。而由于PI具有易弯曲、韧性好的特点,在器件制作过程中无法作为承载基板使用,需要将PI涂覆在载体玻璃基板上,完成显示器件制作后,再用激光剥离技术将PI基板从玻璃基板上分离,获得柔性显示器。在进行激光剥离时,激光的高能量易影响TFT器件电性,降低产品良率。因此,出现了双层PI结构,在两层PI之间增加无机阻隔层,以减缓激光剥离时能量向TFT器件的传导,但这要求无机层厚度较厚,降低了基板柔韧性。
现有技术的柔性OLED显示面板,其柔性基板中的无机阻隔层厚度较大,影响柔性OLED显示面板的柔韧性,导致柔性OLED显示面板难以达到理想的弯曲效果。
发明内容
本发明提供一种柔性OLED显示面板,能够在保证制程中TFT器件安全的情况下,不降低OLED显示面板的柔韧性;以解决现有OLED显示面板,因无机阻隔层膜层较厚,导致OLED显示面板柔性降低的技术问题。
为解决上述问题,本发明提供的技术方案如下:
本发明提供一种柔性OLED显示面板,包括柔性基底以及设置于所述柔性基底表面的TFT器件;其中,
所述柔性基底包括:
第一聚酰亚胺层;
第一无机阻隔层,制备于所述第一聚酰亚胺层表面;
钛金属层,制备于所述第一无机阻隔层表面;
第二聚酰亚胺层,制备于所述钛金属层表面;以及,
第二无机阻隔层,制备于所述钛金属层表面;
所述TFT器件制备于所述第二无机阻隔层表面。
根据本发明一优选实施例,所述钛金属层经图形化处理,形成钛金属图案。
根据本发明一优选实施例,所述TFT器件至少包括一有源层,所述钛金属图案投射在所述第二无机阻隔层表面的形状,与所述有源层的图案一致,所述钛金属图案与所述有源层对位设置。
根据本发明一优选实施例,所述第一无机阻隔层、所述第二无机阻隔层的材料采用TiO2。
根据本发明一优选实施例,所述第一聚酰亚胺层与所述第二聚酰亚胺层的膜层厚度相同,所述第一无机阻隔层与所述第二无机阻隔层的膜层厚度相同,并且,所述第一无机阻隔层和所述第二无机阻隔层的膜层厚度,为所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层的膜层厚度的1/3。
根据本发明一优选实施例,所述钛金属层、所述第一无机阻隔层、所述第二无机阻隔层的膜层厚度相同。
依据本发明的上述目的,提出一种柔性OLED显示面板的制备方法,所述方法包括:
步骤S10,提供玻璃衬底;
步骤S20,在所述玻璃衬底表面制备第一聚酰亚胺层;
步骤S30,在所述第一聚酰亚胺层表面制备第一无机阻隔层;
步骤S40,在所述第一无机阻隔层表面制备钛金属层;
步骤S50,在所述钛金属层表面制备第二聚酰亚胺层;
步骤S60,在所述第二聚酰亚胺层表面制备第二无机阻隔层;以及,
步骤S70,在所述第二无机阻隔层表面制备TFT器件。
根据本发明一优选实施例,所述步骤S40还包括:S401,将所述钛金属层进行图案化处理,形成钛金属图案。
根据本发明一优选实施例,所述步骤S70还包括:S701,将所述TFT器件制备于相对应的所述钛金属图案的正上方。
根据本发明一优选实施例,所述方法还包括:步骤S80,使用激光将所述玻璃衬底剥离。
本发明的有益效果为:相较于现有技术的柔性OLED显示面板,本发明提供的OLED显示面板,在柔性基底中设置钛金属层,能够有效吸收激光的能量,进而降低无机阻隔层的膜层厚度,进一步提高柔性OLED显示面板的弯曲性能;解决了现有技术的柔性OLED显示面板,其柔性基板中的无机阻隔层厚度较大,影响柔性OLED显示面板的柔韧性,导致柔性OLED显示面板难以达到理想的弯曲效果。
附图说明
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