[发明专利]柔性OLED显示面板及其制备方法在审
| 申请号： | 201711038095.6 | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107623087A | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 秦芳 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L51/52 | 分类号： | H01L51/52;H01L51/00;H01L27/32;G09F9/30 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 柔性 oled 显示 面板 及其 制备 方法 | ||
1.一种柔性OLED显示面板，其特征在于，包括柔性基底以及设置于所述柔性基底表面的TFT器件；其中，
所述柔性基底包括：
第一聚酰亚胺层；
第一无机阻隔层，制备于所述第一聚酰亚胺层表面；
钛金属层，制备于所述第一无机阻隔层表面；
第二聚酰亚胺层，制备于所述钛金属层表面；以及，
第二无机阻隔层，制备于所述钛金属层表面；
所述TFT器件制备于所述第二无机阻隔层表面。
2.根据权利要求1所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述钛金属层经图形化处理，形成钛金属图案。
3.根据权利要求2所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述TFT器件至少包括一有源层，所述钛金属图案投射在所述第二无机阻隔层表面的形状，与所述有源层的图案一致，所述钛金属图案与所述有源层对位设置。
4.根据权利要求1所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述第一无机阻隔层、所述第二无机阻隔层的材料采用TiO2。
5.根据权利要求1所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述第一聚酰亚胺层与所述第二聚酰亚胺层的膜层厚度相同，所述第一无机阻隔层与所述第二无机阻隔层的膜层厚度相同，并且，所述第一无机阻隔层和所述第二无机阻隔层的膜层厚度，为所述第一聚酰亚胺层和所述第二聚酰亚胺层的膜层厚度的1/3。
6.根据权利要求5所述的柔性OLED显示面板，其特征在于，所述钛金属层、所述第一无机阻隔层、所述第二无机阻隔层的膜层厚度相同。
7.一种柔性OLED显示面板的制备方法，其特征在于，所述方法包括：
步骤S10，提供玻璃衬底；
步骤S20，在所述玻璃衬底表面制备第一聚酰亚胺层；
步骤S30，在所述第一聚酰亚胺层表面制备第一无机阻隔层；
步骤S40，在所述第一无机阻隔层表面制备钛金属层；
步骤S50，在所述钛金属层表面制备第二聚酰亚胺层；
步骤S60，在所述第二聚酰亚胺层表面制备第二无机阻隔层；以及，
步骤S70，在所述第二无机阻隔层表面制备TFT器件。
8.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S40还包括：
S401，将所述钛金属层进行图案化处理，形成钛金属图案。
9.根据权利要求8所述的制备方法，其特征在于，所述步骤S70还包括：
S701，将所述TFT器件制备于相对应的所述钛金属图案的正上方。
10.根据权利要求7所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：
步骤S80，使用激光将所述玻璃衬底剥离。
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